Дисертації з теми "Microelectromechanical systems technology"
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Then, Alan M. (Alan Michael) 1965. "Commercialization of microelectromechanical systems (MEMS)." Thesis, Massachusetts Institute of Technology, 2001. http://hdl.handle.net/1721.1/8920.
Повний текст джерелаIncludes bibliographical references (leaves 69-72).
Microelectromechanical systems (MEMS), at their core are a set of technologies that employ the processes developed in the integrated circuit (IC) and semiconductor industries to construct electro- mechanical devices. In the case of Microopticelectromechanical systems (MOEMS), optical elements are also integrated into these devices. MEMS technology holds the promise of significantly miniaturizing, reducing the cost of, and enhancing the performance of many sensors and actuators, evidence its widespread use in the manufacture of accelerometers, ink jet printer heads and various chemical gas sensors. Despite its stellar success in these "killer-applications," MEMS technology has failed to realize the widespread success many had predicted for it. Nonetheless, this technology has recently been explored extensively for new electro-optics applications, specifically in telecommunications for dense wavelength division multiplexing (DWDM) and optical switching. This thesis examines various models of dynamic technology adoption and explores how they apply to MEMS technology. Furthermore, by way of historical comparison to the development of application specific integrated circuit (ASIC), it will identify various developmental similarities. Finally, a unique model outlining the critical driving forces behind the adoption of MEMS technology will be constructed.
by Alan M. Then.
S.M.M.O.T.
Robinson, Gary Neil 1960. "The commercialization of microelectromechanical systems (MEMS)." Thesis, Massachusetts Institute of Technology, 1999. http://hdl.handle.net/1721.1/9534.
Повний текст джерелаIncludes bibliographical references (leaf 80).
Microelectromechanical systems (MEMS) comprise a set of technologies for the micromachining and electromechanical integration of sensors and actuators. MEMS allow for the radical miniaturization of such devices, as well as for significant improvements in performance and cost over conventionally fabricated mechanical and electrical components. In this thesis, I attempt to assess the value inherent in MEMS innovations and to understand how companies have tried to capture that value. In doing so, I assess the pathways and prospects for the commercialization of MEMS-based devices. I have chosen to focus on two classes of devices: (1) micromachined accelerometers for crash sensing and subsequent air bag deployment in automobiles, and (2) microfabricated chemical sensing and analysis devices for detecting and quantifying gas phase molecules, analyzing complex molecular mixtures, and carrying out high throughput screening of chemical compounds. Accelerometers are an example of a MEMS-based sensor that has almost completely displaced existing electromechanical substitute devices. Applications of MEMS to chemical sensing and analysis, however, are less mature and widespread adoption is less assured. In both cases, I evaluate the opportunities in the new technology from several different perspectives: (1) the factors that affect the transition from innovative technologies to marketable products; (2) the economic, market, and strategic forces that influence the adoption of these products; and (3) the business models of companies that have attempted to profit from MEMS innovations. I conclude the thesis with a chapter on potential strategic market barriers to successful commercialization of MEMS-based devices.
by Gary N. Robinson.
S.M.M.O.T.
Ma, Wei. "Low temperature metal-based micro fabrication and packaging technology /." View abstract or full-text, 2005. http://library.ust.hk/cgi/db/thesis.pl?MECH%202005%20MA.
Повний текст джерелаJoung, Yeun-Ho. "Electroplating bonding technology for chip interconnect, wafer level packaging and interconnect layer structures." Diss., Available online, Georgia Institute of Technology, 2004:, 2003. http://etd.gatech.edu/theses/available/etd-04052004-180025/unrestricted/joung%5Fyeun-ho%5F200312%5Fphd.pdf.
Повний текст джерелаMustafa, Haithem Ali Babiker. "Development of a noncontact current sensor based on MEMS technology." Thesis, Cape Peninsula University of Technology, 2007. http://hdl.handle.net/20.500.11838/1082.
Повний текст джерелаMost ofMEMS sensors are based on the micro-cantilever technology, which use wide range of different design materials and structures. The benefit ofMEMS technology is in developing devices having lower cost, lower power consumption, higher performance, and integration. A free-end cantileverbeam made of magnetic material (PerrnaIloy) and a movable mass attached to the free-end has been designed using MEMS software tools. The magnetic material was used to improve the sensitivity of the cantilever-beam to an external applied magnetic field. The deflection of the cantilever was detected using capacitive sensing method. The aim of this research was to develop a non-contact current sensor based on MEMS technology by analysing the simulation of the system design of the micro cantilever when subjected to a magnetic field produced by a current-carrying conductor. When the signal, a sinusoidal current with a constant frequency is applied, the cantilever-beam exhibits a vibration motion along the vertical axis when it is placed closer to the line current. This creates corresponding capacitance changes and generates a voltage output proportional to the capacitive change in the signal processing circuitry attached to the micro cantilever. Modelling of the magnetic moment of a magnetic cantilever-beam placed in a field, the deflection of { the beam, the natural frequency of the cantilever-beam, the maximum deflection, the change in differential capacitive sensing technique, linearity of the differential capacitive, and capacitive sensitivity the circuit designed for readout was derived.
Hau, Lap Wing. "Electrokinetically-driven liquid flows in microchannels using surface-chemistry technology /." View abstract or full-text, 2005. http://library.ust.hk/cgi/db/thesis.pl?MECH%202005%20HAU.
Повний текст джерелаShen, Zhilei Liu. "Tensile Mechanical Properties of Isolated Collagen Fibrils Obtained by Microelectromechanical Systems Technology." Case Western Reserve University School of Graduate Studies / OhioLINK, 2010. http://rave.ohiolink.edu/etdc/view?acc_num=case1278977802.
Повний текст джерелаCoe, David James. "Fabrication technology approaches to micromachined synthetic jets." Diss., Georgia Institute of Technology, 2002. http://hdl.handle.net/1853/15485.
Повний текст джерелаHe, Huiqi. "Miniaturized electroporation system for gene transfer using bio-MEMS technology /." View abstract or full-text, 2007. http://library.ust.hk/cgi/db/thesis.pl?BIEN%202007%20HE.
Повний текст джерелаYin, Guangyao. "Theoretical analysis and experiments of single cell electroporation using MEMS technology /." View abstract or full-text, 2010. http://library.ust.hk/cgi/db/thesis.pl?BIEN%202010%20YIN.
Повний текст джерелаGuan, Lingpeng. "Novel low voltage power semiconductor devices and IC technologies /." View abstract or full-text, 2006. http://library.ust.hk/cgi/db/thesis.pl?ECED%202006%20GUAN.
Повний текст джерелаSchnell, Andrew Robert. "Use of decision-centric templates in the design of a separation column for a microscale gas chromatography system." Thesis, Available online, Georgia Institute of Technology, 2006, 2006. http://etd.gatech.edu/theses/available/etd-07102006-081530/.
Повний текст джерелаDr. Martha Gallivan, Committee Member ; Dr. Chris Paredis, Committee Member ; Dr. Janet K. Allen, Committee Member ; Dr. Peter Hesketh, Committee Co-Chair ; Dr. Farrokh Mistree, Committee Co-Chair.
Haneef, Ibraheem. "SOI CMOS MEMS flow sensors." Thesis, University of Cambridge, 2009. http://ethos.bl.uk/OrderDetails.do?uin=uk.bl.ethos.611843.
Повний текст джерелаOgah, Oshoriamhe F. "Free-carrier effects in polycrystalline silicon-on-insulator photonic devices /." Online version of thesis, 2010. http://hdl.handle.net/1850/11979.
Повний текст джерелаBejhed, Johan. "Fluidic Microsystems for Micropropulsion Applications in Space." Doctoral thesis, Uppsala : Acta Universitatis Upsaliensis, 2006. http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-7148.
Повний текст джерелаGarbayo, Senosiain Iñigo. "Integration of thin film based micro solid oxide fuel cells in silicon technology." Doctoral thesis, Universitat de Barcelona, 2013. http://hdl.handle.net/10803/131944.
Повний текст джерелаEn las últimas décadas, ha habido una gran proliferación de aparatos portátiles. Entre ellos, cabe destacar los aparatos destinados a electrónica de consumo, como por ejemplo teléfonos móviles, reproductores de música, libros electrónicos, etc., los cuales están actualmente muy extendidos. De cara a proporcionar a estos aparatos con suficiente autonomía, se ha de integrar una fuente de alimentación en el mismo dispositivo. Esto urge a buscar posibles fuentes de alimentación con capacidad de integración, y que a su vez satisfagan los requerimientos básicos de alta densidad de potencia, gran tiempo de vida y bajo coste. Hasta ahora, la principal fuente de alimentación utilizada en este tipo de dispositivos ha sido las baterías. Sin embargo, conforme aumentan las funcionalidades, la necesidad de mayor capacidad de suministro (o almacenamiento) energético aumenta. Es más, justo ahora entrando en la cuarta generación (4G) de la electrónica de consumo, diversos estudios sugieren que las baterías, ya optimizadas, probablemente están alcanzando su límite en densidad energética, con lo que no podrían ya considerarse más para alimentar de manera viable los dispositivos más avanzados. En este sentido, en los últimos años muchos grupos de investigación han puesto su atención en el desarrollo de alternativas viables que puedan mejorar las prestaciones de las baterías como fuente de alimentación de dispositivos de altas prestaciones que trabajen en el régimen de baja potencia (1 − 20W). Debido a su alto tiempo de vida, alta densidad energética y capacidad de integración, probablemente la alternativa más prometedora es el desarrollo de micro pilas de combustible. En particular, entre los diferentes tipos, las micro pilas de combustible de óxido sólido (micro SOFC, de sus siglas en inglés), presentan los mayores valores de densidad energética específica (por unidad de masa y/o volumen), mayormente debido a su alta temperatura de operación y la consecuente capacidad de operar directamente con combustibles hidrocarburos. El diseño de micro SOFC más extendido está basado en la fabricación de membranas auto soportadas, las cuales integran ya todas las partes funcionales de la pila, es decir, un electrolito fino cubierto por un ánodo y un cátodo (uno a cada lado). Estas membranas, de grosor muy fino (menos de 1m), normalmente se encuentran soportadas en plataformas de silicio micro mecanizadas, de manera que se facilita un fácil acceso al combustible directamente a ambos lados de la membrana, a la vez que se proporciona robustez al sistema. El uso de silicio como material de soporte es muy conveniente, ya que es el material más utilizado en micro fabricación, por lo que existe una amplia y altamente desarrollada serie de técnicas para su micro mecanizado. Esta tesis engloba el diseño, la fabricación y la caracterización de micro pilas de combustible de óxido sólido basadas en capas delgadas, e integradas en tecnología de silicio. El desarrollo de las micro SOFC se ha llevado a cabo de tres formas diferentes: (i.) presentando nuevos diseños para la optimización de las membranas auto soportadas, (ii.) fabricando electrolitos en capa delgada estables termo-mecánicamente y (iii.) sugiriendo e implementando en el dispositivo final nuevos materiales de electrodo en capa delgada más efectivos y viables que los actuales. En primer lugar, se fabricaron dos diseños de membrana diferentes, usando tecnología de micro fabricación de silicio. En el primero de los diseños, se fabricaron membranas cuadradas básicas. En este caso, el trabajo más importante fue el de la adaptación del proceso de fabricación al flujo de fabricación de la Sala Blanca del IMB-CNM (CSIC). Más adelante, se desarrolló un nuevo diseño de membrana de gran superficie, basado en el uso de mallas de nervios de silicio dopado como soporte robusto. Así, se consiguieron fabricar membranas auto soportadas con un área total de hasta 30 veces mayor que las conseguidas en el diseño básico anterior. Para el electrolito, se usó zirconia estabilizada con ytria (YSZ, de sus siglas en inglés), el material estado del arte en SOFC de gran volumen. Se fabricaron membranas auto soportadas de YSZ con gran reproducibilidad, obteniendo capas delgadas densas, cristalinas y de grosor homogéneo. Estas características son básicas para un buen funcionamiento del electrolito, ya que así se evitan posibles cortocircuitos entre los dos electrodos y/o fugas de gas. Además, se realizó un estudio exhaustivo de la estabilidad termo-mecánica de las membranas de YSZ, ya que las temperaturas de operación de la pila son de varios centenares de ℃. En particular, se prestó atención especial a la evolución de los estreses en función de las condiciones de fabricación de la capa de YSZ, para as. evitar posibles fallos en los continuos ciclados térmicos. Finalmente, se realizó un estudio de las propiedades electroquímicas de las membranas de YSZ fabricadas. Normalmente, se establece un valor de resistencia específica por área de 0.15 Ω cm2 para cada una de las capas funcionales de las pilas. En este caso, este valor objetivo se obtuvo a temperaturas de 400℃ en membranas de YSZ de 250 nm de grosor. De esta forma, se comprobó que estas capas pueden funcionar perfectamente como electrolito en todo el rango de operación de las micro SOFC, que normalmente se establece en 400 − 800℃. A continuación, se probaron diversos materiales como electrodos en capa delgada, para su implementación en micro SOFC. En primer lugar, aunque éstos han sido usados frecuentemente por otros autores en estudios previos de micro SOFC, se comprobó que los electrodos metálicos en capa delgada (capas de Pt poroso) son inestables a las temperaturas de operación de las micro SOFC. Por lo tanto, esto hizo que se probaran materiales alternativos, bien para el ánodo o para el cátodo. En particular, para el cátodo se fabricaron capas delgadas porosas de La(0.6)Sr(0.4)CoO(3-δ) (LSC) y se integraron en membranas auto soportadas de YSZ (electrolito). La conductividad eléctrica que se midió en estas capas es adecuada, y no se observó degradación en todo el rango de temperaturas de operación. Así mismo, se comprobó la estabilidad termo mecánica del sistema fabricando membranas simétricas de LSC/YSZ/LSC y realizándoles ciclados térmicos hasta los 700℃. Por último, se midieron las propiedades electroquímicas de las bi-capas cátodo/electrolito, obteniendo los valores objetivo de resistencia específica por área (0.30 Ωcm2) a temperaturas de 700℃. Para el ánodo, se fabricaron capas delgadas porosas de un cermet de Pt y Ce0(.8)Gd(0.2)O(1.9-δ) (PtKCGO). Las capas de CGO se tuvieron que fabricar de grosores por debajo de 1 m, debido a problemas de delaminación del sustrato. Se aseguró una buena inter-conexión entre el Pt y el CGO mediante tratamientos térmicos. Las propiedades electroquímicas se midieron nuevamente fabricando membranas simétricas, esta vez Pt-CGO/YSZ/CGO-Pt. Así mismo, el objetivo de 0.30 Ωcm2 se obtuvo de nuevo a temperaturas alrededor de 700℃. Además, en esta tesis se llevó a cabo la fabricación de colectores de corriente térmicamente estables y a su vez compatibles con la configuración básica de una micro SOFC (membranas auto soportadas). Para ello, se usó un proceso de litografía no convencional, llamado "nanosphere lithography". De esta forma se fabricaron mallas de Pt denso perfectamente ordenadas en ambos lados de las membranas. La estabilidad térmica y la durabilidad en el tiempo de estas mallas fue igualmente probada mediante medidas en condiciones de trabajo reales de micro SOFC. Por último, en este trabajo se presentó una micro SOFC completamente basada en cerámicas por primera vez. Las tres capas funcionales de la pila, es decir, tanto el cátodo, como el electrolito y el ánodo, se fabricaron basándose en los estudios previos de cada material. Así, se fabricaron membranas auto soportadas siguiendo la configuración LSC/YSZ/CGO-Pt. Además, se implementaron mallas de Pt en ambos lados para asegurar una buena colección de corriente. La estabilidad termo mecánica de la membrana se midió hasta 750℃, extendiendo así el rango de temperaturas de operación reportado anteriormente en dispositivos finales de micro SOFC y en consecuencia permitiendo el uso de electrodos cerámicos. Se midieron valores de densidad de potencia de 100 mW/cm2 a 750℃, usando H2 como combustible y aire sintético como oxidante. Estos resultados representan los primeros valores de potencia presentados en micro SOFC basadas en cerámicas, abriendo as. la posibilidad de desarrollar una segunda generación de micro SOFC más viables térmicamente.
Thacker, Hiren Dilipkumar. "Probe Modules for Wafer-Level Testing of Gigascale Chips with Electrical and Optical I/O Interconnects." Diss., Georgia Institute of Technology, 2006. http://hdl.handle.net/1853/11597.
Повний текст джерелаVakili-Amini, Babak. "A Mixed-Signal Low-Noise Sigma-Delta Interface IC for Integrated Sub-Micro-Gravity Capacitive SOI Accelerometers." Diss., Georgia Institute of Technology, 2006. http://hdl.handle.net/1853/10437.
Повний текст джерела"A human airbag system based on MEMS motion sensing technology." Thesis, 2008. http://library.cuhk.edu.hk/record=b6074546.
Повний текст джерелаby Shi, Guangyi.
"March 2008."
Adviser: Wen Jung Li.
Source: Dissertation Abstracts International, Volume: 70-03, Section: B, page: 1855.
Thesis (Ph.D.)--Chinese University of Hong Kong, 2008.
Includes bibliographical references (p. 108-111).
Electronic reproduction. Hong Kong : Chinese University of Hong Kong, [2012] System requirements: Adobe Acrobat Reader. Available via World Wide Web.
Electronic reproduction. [Ann Arbor, MI] : ProQuest Information and Learning, [200-] System requirements: Adobe Acrobat Reader. Available via World Wide Web.
Abstracts in English and Chinese.
School code: 1307.
(5930441), Zhengan Yang. "MEMS TUNABLE SI-BASED EVANESCENT-MODE CAVITY FILTERS: DESIGN, OPTIMIZATION AND IMPLEMENTATION." Thesis, 2019.
Знайти повний текст джерелаMabuza, Bongani Christopher. "Charge pumps and floating gate devices for switching applications." Diss., 2012. http://hdl.handle.net/2263/29882.
Повний текст джерелаDissertation (MEng)--University of Pretoria, 2013.
Electrical, Electronic and Computer Engineering
unrestricted