Дисертації з теми "Micro and nano electronics"
Оформте джерело за APA, MLA, Chicago, Harvard та іншими стилями
Ознайомтеся з топ-50 дисертацій для дослідження на тему "Micro and nano electronics".
Біля кожної праці в переліку літератури доступна кнопка «Додати до бібліографії». Скористайтеся нею – і ми автоматично оформимо бібліографічне посилання на обрану працю в потрібному вам стилі цитування: APA, MLA, «Гарвард», «Чикаго», «Ванкувер» тощо.
Також ви можете завантажити повний текст наукової публікації у форматі «.pdf» та прочитати онлайн анотацію до роботи, якщо відповідні параметри наявні в метаданих.
Переглядайте дисертації для різних дисциплін та оформлюйте правильно вашу бібліографію.
Sandison, Mairi Elizabeth. "Micro- and nano-electrode arrays for electroanalytical sensing." Thesis, Connect to e-thesis, 2004. http://theses.gla.ac.uk/1025/.
Повний текст джерелаIncludes bibliographical references (p. 183-203). Print version also available. Mode of access : World Wide Web. System requirements : Adobe Acrobat reader required to view PDF document.
Chichenkov, Aleksandr. "Electrokinetic manipulation of micro to nano-sized objects for microfluidic application." Thesis, University of Liverpool, 2013. http://livrepository.liverpool.ac.uk/15933/.
Повний текст джерелаHamedi, Mahiar. "Organic electronics on micro and nano fibers : from e-textiles to biomolecular nanoelectronics." Doctoral thesis, Linköpings universitet, Biomolekylär och Organisk Elektronik, 2008. http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-17661.
Повний текст джерелаCaccamo, Sebastiano. "Innovative techniques for conformal doping of semiconductors for applications in micro- and nano-electronics." Doctoral thesis, Università di Catania, 2018. http://hdl.handle.net/10761/4171.
Повний текст джерелаMahmood, Tamara. "Micro and nano analysis of a novel polymeric bioresorbable scaffold and its drug release." Thesis, University of Nottingham, 2018. http://eprints.nottingham.ac.uk/51775/.
Повний текст джерелаYao, Peng. "Developing three-dimensional lithography and chemical lithography for applications on micro/nano photonics and electronics." Access to citation, abstract and download form provided by ProQuest Information and Learning Company; downloadable PDF file, 206 p, 2007. http://proquest.umi.com/pqdweb?did=1397913021&sid=11&Fmt=2&clientId=8331&RQT=309&VName=PQD.
Повний текст джерелаBricchi, Erica. "Femtosecond laser micro-machining and consequent self-assembled nano-structures in transparent materials." Thesis, University of Southampton, 2005. https://eprints.soton.ac.uk/30234/.
Повний текст джерелаWilliams, Benjamin Heathcote. "Nano- and micro-scale techniques for electrical transport measurements." Thesis, University of Oxford, 2016. https://ora.ox.ac.uk/objects/uuid:09c73d9f-b68d-4f06-9ffe-cbb29d200809.
Повний текст джерелаGalán, Cascales Teresa. "Conducting polymers for micro and nano electrodes. Application to biomolecule sensing and release." Doctoral thesis, Universitat de Barcelona, 2015. http://hdl.handle.net/10803/297432.
Повний текст джерелаAunque los polímeros conductores se presentan como una alternativa viable a los materiales convencionalmente usados en aplicaciones biomédicas, las técnicas de fabricación adaptadas a ellos y el aprovechamiento de sus propiedades están lejos de ser completos. Existen importantes limitaciones en la fabricación de micro y nano estructuras basadas en polímeros conductores. Debido a la agresividad de las técnicas tradicionalmente usadas en microelectrónica, se hace necesaria la búsqueda de nuevas estrategias de fabricación adaptadas a polímeros conductores, así como de nuevos procesos que puedan mejorar el rendimiento de los dispositivos diseñados. En esta tesis titulada “Conducting polymers micro and nano electrodes. Application to biomolecule sensing and release”, se han investigado nuevas técnicas de fabricación y de funcionalización de polímeros conductores, poniendo un especial interés en su aplicación biomédica. Una nueva técnica de fabricación de microestructuras de polipirrol por método biocatalítico sobre superficies aislantes ha sido desarrollada con resoluciones comparables a las de la litografía óptica. Dicha técnica es compatible con la incorporación de biomoléculas durante el proceso de síntesis, lo que garantiza su utilización en entornos biológicos. Esto fue demostrado mediante la incorporación de biotina durante el proceso de polimerización y su posterior liberación, mediante estimulo eléctrico. También se ha desarrollado un nuevo sensor de ADN sin marcaje basado en electrodos de azida-PEDOT, para la detección de secuencias basadas en la “Hepatitis C”. Estos electrodos, permiten la directa y covalente funcionalización con secuencias de ADN, modificadas con grupos acetileno, por medio de la química “Click”. La hibridación fue detectada mediante la evaluación de la electroactividad del polímero tras el suceso de reconocimiento. Esta novedosa modalidad de sensores demostró ser selectiva y sensible, siendo capaz de detectar secuencias complementarias en el rango nM, sin necesidad de marcajes, ni complejas técnicas de microfabricación. Finalmente, se estudiaron dos técnicas de fabricación de nanohilos de polímero conductor: nanolitografía de dip-pen y electropolimerización sobre superficies con plantillas. Estos estudios proveen al incompleto campo de la fabricación de nanoestructuras de polímeros conductores de resultados adicionales, que amplían el campo de aplicación de dichos materiales.
Sorel, Julien. "Tomographie électronique analytique : Automatisation du traitement de données et application aux nano-dispositifs 3D en micro-électronique." Thesis, Lyon, 2020. http://www.theses.fr/2020LYSEI078.
Повний текст джерелаThe aim of this thesis is to automate the process of hyperspectral analysis for analytical electron tomography applied to nanodevices. The work presented here is focused on datasets obtained by energy-dispersive X-ray spectroscopy in a scanning transmission electron microscope (STEM-EDX). STEM-EDX tomography has benefited greatly from recent developments in electron sources such as the ‘X’-FEG (Field Emission Gun), and multiple X-ray detector systems such as the Super-X, incorporating four SSD (Silicon Drift Detectors) detectors. The technique remains however very time-consuming, and low X-ray count rates are necessary to minimize the total acquisition time and avoid beam damage during the experiment. In addition, tomographic stacks of STEM-EDX datacubes, acquired at different tilt angles, are too large to be analyzed by commercial software packages in an optimal way. In order to automate this process, we developed a code based on Hyperspy, a Python library for multidimensional data analysis. Multivariate statistical analysis techniques were employed to optimize and automate the denoising, the energy calibration and the separation of overlapping X-ray lines, with the aim to achieve quantitative, chemically sensitive volumes. Moreover, a compressed sensing based algorithm was employed to achieve high fidelity reconstructions with undersampled tomographic datasets. The code developed during this thesis was used for the 3D chemical analysis of four microelectronic nanostructures: FinFET, HEMT and GAA transistors, and a GeTe thin film for memory device applications. The samples were prepared in a needle shape using a focused ion beam, and the data acquisitions were performed using a Titan Themis microscope equipped with a super-X EDX detector system. It is shown that the code yields 3D morphological and chemical information with high accuracy and fidelity. Ways to improve the current methodology are discussed, with future efforts aiming at developing a package dedicated to analytical electron tomography
Djuric, Bojan. "Contribution à l'interconnexion de composants actifs intégrés dans des substrats laminés : apport des interfaces micro ou nano-structurées." Thesis, Toulouse 3, 2020. http://www.theses.fr/2020TOU30070.
Повний текст джерелаThe power converters hold a central position in electrical engineering. The power ratings are increasing and the converters have to meet these needs in compact systems. For example, the current power density of commercialized power converters of 2 kW for photovoltaic application is around 1 kW.l-1, whereas in the "Little Box Challenge" organized by Google and IEEE reached 12 kW.l-1. This improvement is mainly explained by using wide band-gap (WBG) semiconductor devices based on silicon carbide (SiC) and gallium nitride (GaN) materials that permit significantly higher switching frequencies. However, the associated shorter switching times are only possible when all stray elements in the package are minimized in order to take all the benefit of these new components. The parasitic elements, and the package stray inductances in particular, are source of losses which reduce the efficiency and also cause less reliable operation and EMI noise. This is fundamentally difficult to achieve with the popular packages using wire-bonded interconnections. In some application, the WBG devices are expected to be able to work at higher temperature than silicon (Si) components. The junction temperature (Tj) of SiC components can be higher than 200°C in comparison of Si switches around 125°C. The package must endure high temperature and resist the ensuing large temperature transitions as well. The PCB technology has the advantage of being a cost efficient and well-established process. There is a possibility of massive parallel manufacturing, fine pitch, thick copper for heat and current transport, repeatable multilayer structures, etc. The embedding of power dies in PCB recently has solicited great interest. There are several kinds of proposed interconnections. The greatest advantage of the technology for power device packaging is the strip-line approach of distributing current, bringing down the stray inductance close to the theoretical minimum. The trend in PCB-embedding technology is to interconnect the components by using laser micro-vias. The thermal conductivity of the PCB core is less than 1 W.m-1.K-1 for the polyimide material such a kapton against 170 W.m-1.K-1 for aluminum nitride (AlN) for direct bonded copper (DBC) substrate. The micro-via approach suffers from the manufacturing limits imposed on their density, resulting in current and heat flux limitations. This variation of the conveyed power through the converter is a source of temperature variations in the power assembly. Temperature gradient is present along the interconnections which, combined with different thermal expansion coefficient of each material, leads to crack at micro-via/die interface and delaminates over time. These interconnection defects are affecting strongly the reliability of the converter, attributed to the applied cyclical stresses. The proposed solution combines advanced PCB technologies and " not rigid " innovative interconnection, based on electrolytic deposition of macro and nano structured interfaces, followed by thermo-compression. The assembly may thus be an elementary block for the design of power converters with high level of integration and reliability by means of a full copper and flexible interconnection allowing double-sided cooling. It is expected that the nano wires used as thermal and electrical die interface will be also more resistant to cyclical stresses
Salazar, A. "Conception d'un Imageur CMOS à Colonne Active pour un Biocapteur Optique SPR." Phd thesis, Université de Grenoble, 2013. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00932309.
Повний текст джерелаGauthier, Sébastian. "Caractérisation thermique de la matière par la méthode 3ω". Phd thesis, Université Montpellier II - Sciences et Techniques du Languedoc, 2012. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00826953.
Повний текст джерелаBleiker, Simon J. "Heterogeneous 3D Integration and Packaging Technologies for Nano-Electromechanical Systems." Doctoral thesis, KTH, Mikro- och nanosystemteknik, 2017. http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-207185.
Повний текст джерелаTredimensionell (3D) integration av mikro- och nano-elektromekaniska system (MEMS/NEMS) med integrerade kretsar (ICs) är en ny teknik som erbjuder stora fördelar jämfört med konventionell mikroelektronik. MEMS och NEMS används oftast som sensorer och aktuatorer då de möjliggör många funktioner som inte kan uppnås med vanliga ICs.3D-integration av NEMS och ICs bidrar även till mindre dimensioner, ökade prestanda och mindre energiförbrukning av elektriska komponenter. Den nuvarande tekniken för complementary metal-oxide-semicondictor (CMOS) närmar sig de fundamentala gränserna vilket drastiskt begränsar utvecklingsmöjligheten för mikroelektronik och medför slutet på Moores lag. Därför har 3D-integration identifierats som en lovande teknik för att kunna driva vidare utvecklingen för framtidens elektriska komponenter.I denna avhandling framläggs en omfattande fabrikationsmetodik för heterogen 3D-integration av NEMS ovanpå CMOS-kretsar. Heterogen integration betyder att både NEMS- och CMOS-komponenter byggs på separata substrat för att sedan förenas på ett enda substrat. Denna teknik tillåter full processfrihet för tillverkning av NEMS-komponenter och garanterar kompatibilitet med standardiserade CMOS-fabrikationsprocesser.I den första delen av avhandlingen beskrivs en metod för att sammanfoga två halvledarskivor med en extremt tunn adhesiv polymer. Denna metod demonstreras för 3D-integration av NEMS- och CMOS-komponenter. Den andra delen introducerar ett nytt koncept för NEM-switchar och dess användning i NEM-switch-baserade mikrodatorchip. Den tredje delen presenterar två olika inkapslingsmetoder för MEMS och NEMS. Den ena metoden fokuserar på hermetisk vakuuminkapsling medan den andra metoden beskriver en lågkostnadsstrategi för inkapsling av optiska komponenter. Slutligen i den fjärde delen presenteras en ny fabrikationsteknik för så kallade ”through silicon vias” (TSVs) baserad på magnetisk självmontering av nickeltråd på mikrometerskala.
20170519
Maung, Rohan. "Micro/nano deformation of agglomerates." Thesis, Imperial College London, 2001. http://hdl.handle.net/10044/1/11823.
Повний текст джерелаMedeiros, Araujo Thiago. "Single Polymer Micro- and Nano- Composites." Doctoral thesis, University of Trento, 2013. http://eprints-phd.biblio.unitn.it/972/1/Medeiros_Thesis_Final_Revised_Version.pdf.
Повний текст джерелаJohn, Jimmy. "VO2 nanostructures for dynamically tunable nanophotonic devices." Thesis, Lyon, 2020. http://www.theses.fr/2020LYSEI044.
Повний текст джерелаInformation has become the most valuable commodity in the world. This drive to the new information age has been propelled by the ability to transmit information faster, at the speed of light. This erupted the need for finer researches on controlling the information carriers more efficiently. With the advancement in this sector, majority of the current technology for controlling the light, face certain roadblocks like size, power consumption and are built to be passive or are restrained technologically to be less active (Si- backed technology). Even though nothing travels faster than light, the real speed at which information can be carried by light is the speed at which we can modulate or control it. My task in this thesis aimed at investigating the potential of VO2, a phase change material, for nano-photonics, with a specific emphasis on how to circumvent the drawbacks of the material and to design and demonstrate efficient integrated devices for efficient manipulation of light both in telecommunication and visible spectrum. In addition to that we experimentally demonstrate the multipolar resonances supported by VO2 nanocrystals (NCs) can be dynamically tuned and switched leveraging phase change property of VO2. And thus achieving the target tailoring of intrinsic property based on Mie formalism by reducing the dimensions of VO2 structures comparable to the wavelength of operation, creating a scope for user defined tunable metamaterial
Lau, Chit. "Single-molecule electronics with graphene nano-electrodes." Thesis, University of Oxford, 2016. https://ora.ox.ac.uk/objects/uuid:bb412c5c-67a2-4c8f-9ba7-38daee151d21.
Повний текст джерелаHe, Qihao. "Développement de procédés micro et nano fluidiques pour la manipulation de micro et nano objets et biomolécules." Phd thesis, Université Paul Sabatier - Toulouse III, 2012. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00685834.
Повний текст джерелаWilhelm, Eric Jamesson 1977. "Printed electronics and micro-electromechanical systems." Thesis, Massachusetts Institute of Technology, 2004. http://hdl.handle.net/1721.1/27141.
Повний текст джерелаIncludes bibliographical references.
Current electronics and micro-electromechanical systems (MEMS) manufacture is optimized for the production of very high-volume parts on a limited range of substrates. These processes are long, consume large amounts of resources, and require expensive machines and facilities, but yield excellent products. Cheaper, faster printing processes are beginning to emerge with the ability to economically produce low or high-volume electronics and MEMS on flexible substrates. This thesis describes the theoretical and practical design of a suite of printing processes including liquid embossing and offset liquid embossing (OLE). These printing techniques have created resistors, capacitors, and thin-film transistors without etching, vacuum deposition, or high temperatures. Here, the fabrication of all-printed electrostatic actuators is described In liquid embossing a polydimethylsiloxane (PDMS) stamp with bas-relief features is brought into intimate contact with a thin liquid film such as a metal or semi-conductor nanoparticle colloid, spin-on-glass, or polymer to create patterns as small as 100 nm. A simulation of liquid embossing was developed by coupling fluid flow in a thin liquid film to the diffusion of solvent into a PDMS stamp. The model accurately predicts real aspects of the printing process including the time required to stamp and usable stamp geometries. OLE was designed to address some of the limitations of liquid embossing. In OLE the patterned liquid film is transferred to a different substrate, allowing finer control over geometry and material placement and leaving behind excess material trapped during stamping. All-printed electrostatic actuators were fabricated using OLE by patterning gold on flexible polyimide and then under-etching with oxygen plasma.
The polyimide acts as a sacrificial material, dielectric layer, and mechanical substrate. Square electrostatic actuators 50 microns on a side can modulate light up to approximately 1 kHz with fields of 1-2 volts per micron. These actuators also show a sharp non-linear response to driving voltage that could be used as part of a passive row-column addressing scheme.
by Eric Jamesson Wilhelm.
Ph.D.
Rudé, Moreno Miquel. "Micro-nano structured optical devices using Ge2Sb2Te5." Doctoral thesis, Universitat Politècnica de Catalunya, 2016. http://hdl.handle.net/10803/404742.
Повний текст джерелаEls dispositius fotònics són un dels principals candidats per implementar les futures tecnologies de la informació i de la comunicació. El seu èxit dependrà en gran mesura de la capacitat de controlar la llum en aquests dispositius, en particular en dispositius reprogramables. Degut a que la llum no interactua amb ella mateixa normalment es necessita usar un material actiu per assolir aquest control. Els materials de canvi de fase són un dels possibles candidats per implementar aquesta funcionalitat. Aquest conjunt de compostos químics es caracteritzen per tenir més d’una fase estable. Cada una d’aquestes fases presenta unes propietats òptiques I elèctriques molt diferents. A més a més els canvis de fase en aquests materials es poden realitzar molt ràpidament i de manera reversible mitjançant polsos elèctrics o òptics. Aquesta tesis descriu el disseny i la implementació de nous dispositius òptics micro i nanoestructurats usant el material de canvi de fase Ge2Sb2Te5 (GST). A la primera part de la tesis s’investiga com fabricar capes primes de diferents materials de canvi de fase de manera repetible i es caracteritzen les seves propietats principals, en especial les del GST. Això inclou una investigació de la seva composició, les condicions necessàries per induir reversiblement transicions de fase entre els estats amorf i cristal·lí, així com mesures de les propietats òptiques de cada una de les fases. Aquests resultats es faran servir per implementar després tres aplicacions, cada una de les quals té una funció diferent. La primera aplicació és un interruptor òptic que treballa a una longitud dona de 1550 nm. El dispositiu està implementat en un anell ressonador parcialment recobert amb una capa prima de GST. Les ressonàncies en iv transmissió d’aquest sistema són controlades amb un làser infraroig que indueix transicions de fase en la capa de GST, modificant la forma i posició de la ressonància entre dos estats. L’interruptor té una relació entre els estats “on” i “off” de 12 dB i un temps de resposta d’uns 5 s. En la segona aplicació es demostra el control de plasmons de superfície propagant-se a través d’una guia d’ona d’or. Això s’aconsegueix fent servir una capa de GST dipositada sobre el dispositiu. Usant grans àrees de GST i cristal·lització per temperatura es poden aconseguir modulacions del 100 %, mentre que usant petites àrees de GST i cristal·lització làser es demostren modulacions de fins el 30 %. La tercera aplicació explora la combinació d’estructures periòdiques de nanoforats amb capes de GST. En aquest experiment s’investiga l’efecte de les transicions de fase en les ressonàncies de transmissió usant tres geometries diferents. En dispositius amb ressonàncies amples es poden desplaçaments en la longitud d’ona d’aquestes ressonàncies de 385 nm. A més a més, excitant la capa de GST amb polsos curts es mesuren canvis d’aquestes ressonàncies en una escala de temps de ps sense la necessitat d’induir una transició de fase. Per últim també es demostren desplaçaments en la longitud d’ona de fins a 13 nm en dispositius amb ressonàncies estretes. Els estudis i aplicacions descrits en aquesta tesi demostren el potencial del GST i dels materials de canvi de fase en general per implementar dispositius òptics sintonitzables, que realitzaran una funció essencial en futures tecnologies basades en la llum.
Martín, Olmos Cristina. "Micro/Nano fabrication of polymer-based devices." Doctoral thesis, Universitat Autònoma de Barcelona, 2008. http://hdl.handle.net/10803/5358.
Повний текст джерелаEl treball ha estat elaborat al Centre Nacional de Microelectrònica (CNM), a l'Institut de Microelectrònica de Barcelona (IMB).
Les activitats del CNM-IMB estan dividides en 6 àrees d'investigació diferents, cobrint un ampli rang de dispositius microelectrònics: microsistemes i tecnologia de silici, transductors químics, dispositius i sistemes de potència, aplicacions biomèdiques, diseny de circuits electrònics i nanotecnologia. Aquest treball s'ha dut a terme dins d'aquesta última àrea.
La major part de la feina s'ha emmarcat en el projecte d'investigació europeu FP6 NOVOPOLY (Novel functional polymer materials for MEMS and NEMS applications) que té com a objectius desenvolupar nous materials per aplicacions en l'àrea de la tecnologia dels micro- i dels nano- sistemes (MEMS i NEMS). Una altra part de la Tesi es va realitzar en el marc del projecte d'investigació europeu FP6 NaPa (Emerging Nanopatterning Methods) que pretén desenvolupar noves tècniques d'estampació nanomètrica com poden ser el NIL, soft lithography, la litografia basada en MEMS, etc. Ambdós projectes han estat fonts de motivacions, capital per recursos y col·laboradors que han contribuït notòriament en la formació d'aquesta Tesi.
El primer objectiu d'aquest treball va ser el de establir les bases de la tecnologia de fabricació amb polímers en la Sala Blanca del CNM. El CNM sempre ha treballat amb tecnologia de silici però, donat que el polímers estan demostrant ser una alternativa de baix cost, era interessant (a nivell local) optimitzar aquests processos.
Per altra banda, existeix un gran interès en modificar els polímers fotoestructurables existents, com la SU-8, afegint-los diferents funcionalitats i superant així les actuals limitacions d'aquests materials pel que fa a les seves propietats mecàniques, a la seva conductivitat elèctrica, a millorar la seva estabilitat a altes temperatures, etc. Aquests nous polímers poden representar en un futur pròxim les bases de l'avanç de la tecnologia de polímers, tant per aplicacions acadèmiques com industrials. Gràcies a les col·laboracions establertes en els projectes europeus abans mencionats, s'ha pogut presentar en aquesta Tesi el processat d'alguns nous polímers per algunes aplicacions concretes.
Per tots aquests motius esmentats, aquesta Tesi és un compendi de diferents dispositius polimèrics, cadascun d'ells fabricat amb processos diferents, perquè o bé els materials o bé les tècniques no eren les mateixes. Per aquesta raó, la Tesi es divideix en 7 Capítols:
La introducció pretén repassar l'estat de l'art de les tècniques de fabricació amb polímers. Com aquesta Tesi està enfocada en l'ús de polímers fotoestructurables per a la fabricació de dispositius, el principal procés és la UV lithography tot i que altres mètodes han estat desenvolupats per assolir millor resolució i millors resultats. Les tècniques litogràfiques que es poder utilitzar amb polímers estan breument descrites i també s'introdueixen tres tipus diferents de polímers per donar un coneixement bàsic dels conceptes més fets servir al llarg d'aquesta memòria.
El Capítol 2 presenta la fabricació de sondes d'AFM polimèriques que podes ser utilitzades en qualsevol equip d'AFM comercial, demostrant així el seu camp d'aplicació, el seu baix cost de producció i la seva capacitat per a ser comercialitzades. Aquesta és la principal responsabilitat de què el CNM tenia dins del projecte Novopoly.
El Capítol 3 és una extensió del capítol anterior però usant un nou material compost per nanopartícules i polímer. El nou material millora algunes de les propietats del polímer original i també s'afegeixen propietats que abans no tenia com pot ser l'actuació magnètica.
En el Capítol 4 s'introdueix un nou polímer. En aquest cas, es demostra que el material és capaç de proporcionar actuació optotèrmica degut a que té un coeficient d'expansió tèrmic més elevat que la versió no dopada. A més, donat que el material és negre, l'actuació òptica en el espectre del visible és possible, el que obre noves possibilitats comparat amb el polímer estàndard. Un model teòric i un estudi complert del comportament d'aquesta actuació estan detallats.
El Capítol 5 descriu com definir estructures de polímer utilitzant l'ink-jet printing i la soft-lithography. Aquestes dues tècniques han estat emprades per evitar la contaminació creuada entre els dipòsits d'un, prèviament fabricat, xip de microfluídica. Aquest capítol és un clar exemple de la flexibilitat que ofereix la tecnologia de polímer.
Les tècniques d'Scanning Probe Lithography (SPL), Litografia per Feix d'Electrons (EBL) i la litografia UV es poden combinar per imprimir en fines capes de polímers tal i com es descriu en el Capítol 6. En aquest capítol s'inclouen els detalls del mecanisme de modificació local del polímers fent servir el Microscopi de Forces Atòmiques (AFM).
Finalment, aquesta Tesi acaba amb les conclusions que estan resumides en el Capítol 7. En ell es comenten els principals resultats de cada un dels processos de fabricació desenvolupats en aquesta memòria.
Este documento resume el trabajo de investigación realizado para la obtención del título de Doctora en Ingeniería Electrónica en la Universitat Autònoma de Barcelona (UAB).
El trabajo ha sido elaborado en el Centro Nacional de Microelectrónica (CNM), en el Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB).
Las actividades del CNM-IMB están divididas en 6 áreas de investigación diferentes, cubriendo un amplio rango de dispositivos microelectrónicos: microsistemas y tecnología de silicio, transductores químicos, dispositivos y sistemas de potencia, aplicaciones biomédicas, diseño de circuitos electrónicos y nanotecnología. Este trabajo se ha ejecutado dentro de esta última área.
La mayor parte del trabajo se ha elaborado en el marco del proyecto de investigación europeo FP6 NOVOPOLY (Novel functional polymer materials for MEMS and NEMS applications) que tiene como objetivos desarrollar nuevos materiales para aplicaciones en el área de la tecnología de los micro- y de los nano- sistemas (MEMS y NEMS). Otra parte de la Tesis se realizó en el marco del proyecto de investigación europeo FP6 NaPa (Emerging Nanopatterning Methods) cuya meta es el desarrollo de nuevas técnicas de estampación nanométrica como puede ser el NIL, soft lithography, la litografía basada en MEMS, etc. Ambos proyectos han sido fuentes de motivaciones, capital para recursos y colaboradores que han contribuido notoriamente en la formación de esta Tesis.
El primer objetivo de este trabajo fue el de establecer las bases de la tecnología de fabricación con polímeros en la Sala Blanca del CNM. El CNM siempre ha trabajado con tecnología de silicio pero, dado que los polímeros están demostrando ser una alternativa de bajo coste, era interesante (a nivel local) optimizar estos procesos.
Por otra parte, existe un gran interés en modificar los polímeros fotoestructurables existentes, como la SU-8, añadiéndoles diferentes funcionalidades y superar así las actuales limitaciones de estos materiales con respecto a sus propiedades mecánicas, a su conductividad eléctrica, a mejorar su estabilidad en altas temperaturas, etc. Estos nuevos polímeros pueden representar en un futuro próximo las bases del avance de la tecnología de polímeros, tanto para aplicaciones académicas como industriales. Gracias a las colaboraciones establecidas en los proyectos europeos antes mencionados, se ha podido presentar en esta Tesis el procesado de algunos nuevos polímeros para algunas aplicaciones concretas.
Por todos los motivos mencionados, esta Tesis es un compendio de diferentes dispositivos poliméricos, cada uno de ellos fabricado con procesos distintos, porque o bien los materiales o bien las técnicas no eran las mismas. Por esta razón, la Tesis se divide en 7 Capítulos:
La introducción pretende repasar el estado del arte de las técnicas de fabricación con polímeros. Como esta Tesis está enfocada en el uso de polímeros fotoestructurables para la fabricación de dispositivos, el principal proceso es la UV lithography aunque otros métodos han sido desarrollados para alcanzar mayor resolución y mejores resultados. Las técnicas litográficas que pueden ser usadas con polímeros están brevemente descritas y también se introducen tres tipos diferentes de polímeros para dar un conocimiento básico de los conceptos más usados a lo largo de esta memoria.
El Capítulo 2 presenta la fabricación de sondas de AFM poliméricas que pueden ser usadas en cualquier equipo de AFM comercial, demostrando así su campo de aplicación, su bajo coste de producción y su capacidad para ser comercializadas. Esta es la principal responsabilidad que el CNM tenía dentro del proyecto Novopoly.
El Capítulo 3 es una extensión del capítulo anterior pero usando un nuevo material compuesto por nanopartículas y polímero. El nuevo material mejora algunas de las propiedades del polímero original y también se añaden propiedades que antes no tenía como puede ser la actuación magnética.
En el Capítulo 4 se introduce otro nuevo polímero. En este caso, se demuestra que el material es capaz de proporcionar actuación optotérmica debido a que tiene un mayor coeficiente de expansión térmica que la versión no dopada. Además, dado que el material es negro, la actuación óptica en el visible es posible, lo que abre nuevas posibilidades comparado con el polímero estándar. Un modelo teórico y un estudio completo del comportamiento de esta actuación están detallados.
El Capítulo 5 describe cómo definir estructuras de polímero usando el ink-jet printing y la soft-lithography. Estas dos técnicas han sido usadas para evitar la contaminación cruzada entre los depósitos de un previamente fabricado chip de microfluídica. Este capítulo es un claro ejemplo de la flexibilidad que ofrece la tecnología de polímero.
Las técnicas de Scanning Probe Lithography (SPL), Litografía por Haz de Electrones (EBL) y la litografía UV se pueden combinar para imprimir en finas capas de polímeros tal y como se describe en el Capítulo 6. En este capítulo se incluyen los detalles del mecanismo de modificación local de polímeros usando en Microscopio de Fuerzas Atómicas (AFM).
Finalmente, esta Tesis termina con las conclusiones que están resumidas en el Capítulo 7. En él se comentan los principales resultados de cada uno de los procesos de fabricación desarrollados en esta memoria.
This document summarizes the research work performed in order to obtain the Ph.D. degree in Electronic Engineering at the Universitat Autònoma de Barcelona (UAB).
The work has been done at the National Centre for Microelectronics (Centro Nacional de Microelectrónica CNM), at the Institute of Microelectronics in Barcelona (IMB).
CNM-IMB activities are divided into 6 different research areas covering a wide range of microelectronic devices: microsystems and silicon technology, chemical transducers, power devices and systems, biomedical applications, electronic circuits design and nanotechnology. The present work has been performed in the latter area.
Most of the work has been performed in the frame of the FP6 European research project NOVOPOLY (Novel functional polymer materials for MEMS and NEMS applications) which aims to develop new functional materials for applications in the area of micro- and nano- systems technology (MEMS and NEMS). Also, a part of the thesis was performed within the frame of the FP6 European research project NaPa (Emerging Nanopatterning Methods) which aims the development of novel nanopatterning techniques as can be NIL, soft lithography, MEMS-based lithography, etc. Both projects have been source of funding, motivations and collaborators that have contributed notoriously to the development of this Thesis.
The first objective of the project was to establish the basis for polymer fabrication technology in the CNM Clean Room. CNM has always been working on silicon technology but, provided that polymer technology is showing itself as a low-cost alternative, it was interesting (at a local level)
to optimize these processes.
On the other hand, there is a large interest in adding functionality to existing photostructurable polymers, like SU-8, and overcome the current limitations of these systems with respect to mechanical, electrical conductivity and high temperature stability properties. These novel polymers can represent in the near future a cornerstone in the development of polymer technology, with both academic and industrial applications. Taking profit of some collaborations established in the projects mentioned above, the processing of some novel polymers is also presented in this Thesis for a few targeted applications.
Therefore, the Thesis is a compendium of different polymeric devices, each of them fabricated with a different process, because either the materials or the techniques were different; and the memory is divided in seven different chapters:
The introduction, aims to review the state of the art of polymer fabrication techniques. As this Thesis is focused in the use of photostructurable polymers for the fabrication of devices, the main process is the UV lithography although others methods have been developed in order to achieve higher resolution and better performance. Lithographic techniques usable for polymers are briefly described and the three kinds of polymers used are introduced in order to give the basic knowledge and main concepts used through all the work.
Chapter 2 presents the fabrication of usable polymeric AFM probes, demonstrating their field of application and low cost production and its feasibility to commercialization. This is the main activity that CNM had in Novopoly project.
Chapter 3 is an extension of the previous chapter but using a new composite material. The new material overcomes some of the drawbacks properties of the original epoxy based resist and also adds functional properties as it can be magnetic actuation.
In Chapter 4 another new composite is shown. In this case, optothermal actuation is demonstrated because this material has a higher thermal expansion coefficient than the undoped version. In addition, given the fact that the material is black, which means that optical actuation in the visible is possible, opening new possibilities compared with the standard polymer. A theoretical model and a fully study of the actuation behaviour is reported.
Chapter 5 describes polymer structures definition by ink-jet printing and soft-lithography. These two techniques were used to avoid the cross contamination between dispensing holes of a previously fabricated microfluidic chip. This chapter is itself an example of how flexible polymer technology is.
Scanning Probe Lithography (SPL), Electron-Beam Lithography (EBL) and UV lithography techniques have been combined to pattern thin layers of polymers as it is depicted in Chapter 6. This chapter includes details mechanism and operation of the local modification of polymers using an Atomic Force Microscope (AFM).
Finally, this Thesis ends with the conclusions that are summarized in Chapter 7. The main results of each fabrication process developed are commented.
Farhana, Baset. "Micro/nano-scale Manipulation of Material Properties." Thesis, Université d'Ottawa / University of Ottawa, 2014. http://hdl.handle.net/10393/31862.
Повний текст джерелаIssa, Mohamad. "Analyse électrothermique des micro- et nano-systèmes /." Trois-Rivières : Université du Québec à Trois-Rivières, 2005. http://www.uqtr.ca/biblio/notice/resume/24102733R.pdf.
Повний текст джерелаNg, Wai-nap, and 吳卉納. "Micro-and nano-light-emitting diode arrays." Thesis, The University of Hong Kong (Pokfulam, Hong Kong), 2008. http://hub.hku.hk/bib/B4088787X.
Повний текст джерелаWu, Cheuk-bun Benny, and 胡卓斌. "Micro/nano-mechanics of cartilage with osteoarthritis." Thesis, The University of Hong Kong (Pokfulam, Hong Kong), 2011. http://hub.hku.hk/bib/B4732210X.
Повний текст джерелаpublished_or_final_version
Mechanical Engineering
Master
Master of Philosophy
Hartley, Robert. "Cell sensing of micro and nano topography." Thesis, University of Glasgow, 2002. http://ethos.bl.uk/OrderDetails.do?uin=uk.bl.ethos.248248.
Повний текст джерелаPapageorgiou, G. "Nano- and micro-structured CdTe solar cells." Thesis, University of Liverpool, 2018. http://livrepository.liverpool.ac.uk/3018656/.
Повний текст джерелаCarmo, Cátia Vanessa Saldanha do Carmo. "Micro-and Nano-Technologies for Food Applications." Doctoral thesis, Universidade Nova de Lisboa. Instituto de Tecnologia Química e Biológica António Xavier, 2016. http://hdl.handle.net/10362/58238.
Повний текст джерелаNano- and microtechnology is one of the hottest topics in food science and technology. Current applications of nano- and microtechnology in the food sector includes the processing and formulation of food ingredients into nano- and micro- structures/-sized/-encapsulated or engineered particle additives. These systems have been incorporated in food to improve functionality, enhancing physical properties (i.e. colour, texture), protecting chemical ingredients from degradation (i.e antioxidants, flavour) and biological degradation (i.e. antimicrobials), and increasing bioavailability. Moreover, it has been used for the development of active/intelligent packaging, sensors and for encapsulation of bioactives, flavour and nutrients.(...)
N/A
Borra, Chaitanya. "DYNAMICS OF LARGE ARRAY MICRO/NANO RESONATORS." University of Akron / OhioLINK, 2020. http://rave.ohiolink.edu/etdc/view?acc_num=akron1590758736333883.
Повний текст джерелаCui, Le. "Robust micro/nano-positioning by visual servoing." Thesis, Rennes 1, 2016. http://www.theses.fr/2016REN1S005/document.
Повний текст джерелаWith the development of nanotechnology, it became possible to design and assemble nano-objects. For robust and reliable automation processes, handling and manipulation tasks at the nanoscale is increasingly required over the last decade. Vision is one of the most indispensable ways to observe the world in micrioscale and nanoscale. Vision-based control is an efficient solution for control problems in robotics. In this thesis, we address the issue of micro- and nano-positioning by visual servoing in a Scanning Electron Microscope (SEM). As the fundamental knowledge, the SEM image formation and SEM vision geometry models are studied at first. A nonlinear optimization process for SEM calibration has been presented considering both perspective and parallel projection model. In this study, it is found that it is difficult to observe the depth information from the variation of the pixel position of the sample in SEM image at high magnification. In order to solve the problem that the motion along the depth direction is not observable in a SEM, the image defocus information is considered as a visual feature to control the motion along the depth direction. A hybrid visual servoing scheme has been proposed for 6-DoF micro-positioning task using both image defocus information and image photometric information. It has been validated using a parallel robot in a SEM. Based on the similar idea, a closed-loop control scheme for SEM autofocusing task has been introduced and validated by experiments. In order to achieve the visual guidance in a SEM, a template-based visual tracking and 3D pose estimation framework has been proposed. This method is robust to the defocus blur caused by the motion along the depth direction since the defocus level is modeled in the visual tracking framework
Ng, Wai-nap. "Micro-and nano-light-emitting diode arrays." Click to view the E-thesis via HKUTO, 2008. http://sunzi.lib.hku.hk/hkuto/record/B4088787X.
Повний текст джерелаShin, Won-Chul. "Nano- and micro-scale studies of exocytosis." Diss., Columbia, Mo. : University of Missouri-Columbia, 2007. http://hdl.handle.net/10355/4725.
Повний текст джерелаThe entire dissertation/thesis text is included in the research.pdf file; the official abstract appears in the short.pdf file (which also appears in the research.pdf); a non-technical general description, or public abstract, appears in the public.pdf file. Title from title screen of research.pdf file (viewed on March 24, 2009) Vita. Includes bibliographical references.
Meehan, Timothy D. Superfine Richard. "Quantitative magnetophoresis of micro and nano particles." Chapel Hill, N.C. : University of North Carolina at Chapel Hill, 2008. http://dc.lib.unc.edu/u?/etd,2272.
Повний текст джерелаTitle from electronic title page (viewed Jun. 26, 2009). "... in partial fulfillment of the requirements for the degree of Doctor of Philosophy in the Department of Chemistry." Discipline: Chemistry; Department/School: Chemistry.
Issa, Mohamad. "Analyse électrothermique des micro- et nano-systèmes." Thèse, Université du Québec à Trois-Rivières, 2005. http://depot-e.uqtr.ca/1193/1/000123400.pdf.
Повний текст джерелаMelouki, Aissa. "Defect and fault tolerance techniques for nano-electronics." Thesis, University of Southampton, 2011. https://eprints.soton.ac.uk/185987/.
Повний текст джерелаFilippov, Stanislav. "Micro-photoluminescence and micro-Raman spectroscopy of novel semiconductor nanostructures." Doctoral thesis, Linköpings universitet, Funktionella elektroniska material, 2015. http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:liu:diva-123939.
Повний текст джерелаLeung, Pak Kin. "Size effect in micro and nano bubble actuators /." View abstract or full-text, 2006. http://library.ust.hk/cgi/db/thesis.pl?MECH%202006%20LEUNG.
Повний текст джерелаBerti, Francesca. "New micro-and nano-technologies for biosensor development." Thesis, Cranfield University, 2009. http://dspace.lib.cranfield.ac.uk/handle/1826/4455.
Повний текст джерелаMitik-Dineva, Natasa. "Bacterial attachment to micro- and nano- structured surfaces." Swinburne Research Bank, 2009. http://hdl.handle.net/1959.3/48547.
Повний текст джерелаNg, Robin. "Novel tissue scaffolds comprising nano- and micro-structures." Columbus, Ohio : Ohio State University, 2007. http://rave.ohiolink.edu/etdc/view?acc%5Fnum=osu1196260817.
Повний текст джерелаKraus, Tobias. "Assembly and printing of micro and nano objects." Göttingen Cuvillier, 2007. http://d-nb.info/986054844/04.
Повний текст джерелаPeng, Suili. "Nano/micro particle-based functional composites and applications /." View abstract or full-text, 2007. http://library.ust.hk/cgi/db/thesis.pl?NSNT%202007%20PENG.
Повний текст джерелаLin, Yuan. "Modeling of dielectrophoresis in micro and nano systems." Doctoral thesis, Stockholm : Mekanik, Mechanics, Kungliga Tekniska högskolan, 2008. http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-4784.
Повний текст джерелаXu, Zhou. "On-line test of micro & nano systems." Thesis, Lancaster University, 2011. http://ethos.bl.uk/OrderDetails.do?uin=uk.bl.ethos.651304.
Повний текст джерелаYoung, Timothy James. "Characterisation of interfaces in micro- and nano-composites." Thesis, University of Surrey, 2012. http://epubs.surrey.ac.uk/770402/.
Повний текст джерелаAl-Zangana, Shakhawan. "Nano- and micro-particle doped liquid crystal phases." Thesis, University of Manchester, 2017. https://www.research.manchester.ac.uk/portal/en/theses/nano-and-microparticle-doped-liquid-crystal-phases(31dbb051-7d9c-4780-bda0-d58773846de0).html.
Повний текст джерелаJiang, Kyle. "Advanced micro and nano fabrications for engineering applications." Thesis, University of Birmingham, 2016. http://etheses.bham.ac.uk//id/eprint/7052/.
Повний текст джерелаYan, Jize. "Micro/nano-electro-mechanical resonators for signal processing." Thesis, University of Cambridge, 2007. http://ethos.bl.uk/OrderDetails.do?uin=uk.bl.ethos.613372.
Повний текст джерелаTang, Ying Kit. "A risk analysis methodology for micro/nano manufacturing." Thesis, University of Greenwich, 2012. http://gala.gre.ac.uk/8054/.
Повний текст джерела