Добірка наукової літератури з теми "Dépôt par ablation laser pulsée"
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Статті в журналах з теми "Dépôt par ablation laser pulsée":
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Belouet, C., D. Chambonnet, D. Keller, and C. Villard. "Dépôt de films minces par ablation laser, le potentiel industriel." Annales de Physique 22 (February 1997): C1–253—C1–260. http://dx.doi.org/10.1051/anphys/1997049.
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Champeaux, C., T. Delage, J. C. Orlianges, A. Catherinot, A. Pothier, J. F. Seaux, P. Blondy, V. Madrangeas, and D. Cros. "Dépôt par ablation laser UV nanoseconde pour la réalisation de composants Télécom." Journal de Physique IV (Proceedings) 108 (June 2003): 19–22. http://dx.doi.org/10.1051/jp4:20030587.
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Orlianges, J. C., C. Champeaux, A. Catherinot, and P. Blondy. "Optimisation des paramètres de dépôt de DLC par ablation laser U.V. de carbone vitreux." Journal de Physique IV (Proceedings) 108 (June 2003): 67–70. http://dx.doi.org/10.1051/jp4:20030598.
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Chambonnet, D. "Le dépôt de films minces par ablation laser : un procédé confiné à des niches industrielles ?" Le Journal de Physique IV 09, PR5 (May 1999): PR5–125—PR5–130. http://dx.doi.org/10.1051/jp4:1999539.
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Pillonnet, A., C. Garapon, C. Champeaux, C. Bovier, R. Brenier, L. Lou, A. Catherinot, B. Jacquier, and J. Mugnier. "Dépôt par ablation laser de guides d'onde d'alumine pure et dopée en europium. Propriétés structurales et optiques." Le Journal de Physique IV 09, PR5 (May 1999): Pr5–143—Pr5–144. http://dx.doi.org/10.1051/jp4:1999543.
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Fuchs, C., R. Henck, E. Fogarassy, J. Hommet, and F. Le Normand. "Films de nitrure de carbone obtenus par ablation laser ArF du graphite en atmosphère d'azote. Corrélation entre l'émission du plasma et la composition du dépôt." Le Journal de Physique IV 09, PR5 (May 1999): Pr5–145—Pr5–146. http://dx.doi.org/10.1051/jp4:1999544.
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FIX, Thomas. "Dépôt par ablation laser pulsé." Optique Photonique, March 2021. http://dx.doi.org/10.51257/a-v1-e4216.
Дисертації з теми "Dépôt par ablation laser pulsée":
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Muniz, Pedro Schio de Noronha. "Propriétés magnétiques de nanofils de cobalt auto-assemblés élaborés par ablation laser pulsée." Paris 6, 2012. http://www.theses.fr/2012PA066118.
Анотація:
Le sujet de cette thèse est l’étude de nanofils de cobalt dans une matrice d’oxyde de cérium (CeO2) épitaxiée sur SrTiO3(001). L’auto-assemblage de nanofils a été mis en évidence lors de la croissance de couches minces de CeO2 fortement dopées au cobalt par ablation laser pulsée. Le caractère métallique du cobalt a été vérifié par des mesures d’absorption X au seuil K du cobalt réalisées au synchrotron. La formation de nanofils a été mise en évidence par des études de microscopie électronique en transmission en mode haute résolution et en mode d’énergie filtrée. Ces études combinées montrent la formation de fils métalliques de Co dans la matrice, orientés le long de la direction de croissance, de longueur limitée par l’épaisseur de la couche et de diamètre dans la gamme 3-7 nm. Ces nanofils constituent des systèmes modèles en nanomagnétisme. Deux assemblées de fils (diamètre 3 nm et 5 nm) ont été étudiées en détail. La structure interne des fils a été déterminée par microscopie électronique et le renversement de l’aimantation au moyen de mesures magnétiques statiques et dynamiques. L’anisotropie magnétique de ces systèmes a été sondée par résonance ferromagnétique. Ces mesures et leurs interprétations ont permis de mettre en évidence la localisation du renversement de l’aimantation dans les fils. Ce phénomène de localisation a été corrélé à la structure interne des fils, plus précisément à l’existence de grains hexagonaux au sein desquels l’anisotropie magnétocristalline est en compétition avec l’anisotropie de forme. L’ensemble de ces résultats a permis de corréler le comportement magnétique à la structure interne réelle de ces objetsThe subject of this thesis is the study of cobalt nanowires self-assembled in a CeO2 matrix. The spontaneous self-assembly of nanowires occurs in strongly Co-doped CeO2 thin films grown by pulsed laser deposition. The metallic character of Co was attested by analysis of X-Ray absorption spectra taken at the Co K-edge. The formation of nanowires could be evidenced by transmission electron microscopy experiments (high resolution and energy filtered modes). Combining these results led to the conclusion of Co nanowires formation in the CeO2 matrix. The nanowires are oriented parallel to the growth direction; have length up to the thickness of film and have a narrow diameter size distribution centered in the 3 - 7 nm range. Due to the reduced values of diameter, these nanowires assemblies are model systems for studies in nanomagnetism. The magnetic properties of two nanowires assemblies (with diameters distribution centered on 3 and 5 nm) were investigated in details. The inner structure could be determined by means of transmission electron microscopy and the magnetization reversal was probed through static and dynamic magnetization measurements. Investigation of the magnetic anisotropy was carried out by analysis of resonance ferromagnetic spectra. The localization of the magnetization reversal was related to the inner structure of nanowires, more precisely to the orientation of hcp Co grains. In these grains, shape and magnetocrystalline anisotropies compete in strength and direction, leading to a thermally dependent effective anisotropy. The results presented indicate that it is possible to correlate the magnetic behavior with the real structure of wires in these systems
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Bieber, Herrade. "Couches minces de ZnCoO déposées par ablation laser pulsée : effet de dopage sur les propriétés structurales et magnétiques." Strasbourg, 2009. http://www.theses.fr/2009STRA6134.
Анотація:
Cette étude s'inscrit dans le domaine de l'électronique de spin, qui combine à la fois la charge et le spin de l'électron pour la réalisation de nouveaux dispositifs notamment ceux visant le stockage d'information. Jusqu’à présent, la réalisation de ces dispositifs pour l’électronique de spin a été freinée par la problématique de l’injection d’électrons avec une direction de spin contrôlée dans un semi-conducteur. En effet l'injection d'électrons polarisés en spin à partir d'un métal ferromagnétique vers un semi-conducteur est limitée par la différence de résistivité entre ces deux matériaux. Une solution a été de rendre le semi-conducteur ferromagnétique. Pour cela, une partie des ions de la matrice semi-conductrice non magnétique est remplacée par des ions magnétiques. L'oxyde de zinc dopé au cobalt est un candidat prometteur, car il lui est prédit dans le cas de la présence de porteurs de charge libres une température de Curie supérieure à la température ambiante. Néanmoins, l'origine de ce ferromagnétisme observée dans la littérature reste controversée. Nous avons donc étudié ZnCoO sous forme de couches minces déposées par ablation laser pulsée. L'étude s'est ensuite focalisée sur l'influence sur les propriétés structurales et magnétiques de la polarité des porteurs de charge par un dopage supplémentaire à l'aluminium et à l'argent. Nous avons pu mettre en évidence l'importance des défauts dans le mécanisme du ferromagnétisme observé à température ambiante dans les couches minces de ZnCoOThe combination of the charge and the spin of the electron giving rise to the new field of spintronics, has led to the realization of new devices amongst others in the field of data storage. Till now, the major difficulty to realize such devices was to obtain spin injection of controlled spin direction into a semi-conductor. Indeed the spin injection from a ferromagnetic metal into a semi-conductor is restrained by the difference of resistivity in both materials. One solution consisted in making the semi-conductor ferromagnetic. Such diluted magnetic semi-conductors (DMS) are composed of a semi-conducting matrix, in which a part of the ions is replaced by magnetic ions. Co-doped zinc oxide is a promising DMS, as it is predicted a Curie temperature above room temperature for this material when doped with transition metals thus giving additional charge carriers. Nevertheless, the origin of the observed ferromagnetism in literature remains controversial. We have thus studied thin films of ZnCoO deposited by pulsed laser deposition. The study has then been focused on the influence of the polarity of charge carriers on the structural and magnetic properties of the thin films by additional doping with silver and aluminum. We have evidenced the importance of the presence of defects on the origin of the observed ferromagnetism in the thin films
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Benzerga, Ratiba. "Optimisation de la croissance de couches minces de composés par ablation laser." Orléans, 2005. http://www.theses.fr/2005ORLE2065.
Анотація:
Ce travail est consacré à l'optimisation de la croissance de couches minces par ablation laser afin d'éviter le dépôt de gouttelettes sur les films, inconvénient majeur de cette technique. Deux approches ont été envisagées, la première consiste dans l'utilisation d'impulsion laser de très courte durée (100 fs) afin d'éviter la formation du bain fondu à la surface des cibles et la seconde approche, la double ablation laser (ns), permet d'éviter "mécaniquement" le dépôt des gouttelettes émises par les cibles. L'étude a montré que l'éjection des gouttelettes peut se produire lors de l'ablation fs, et que les films ainsi déposés sont formés d'empilement de nanoparticules. La fluence laser et la taille de l'impact laser sur la cible apparaissent comme paramètres clés pour le contrôle de l'éjection des gouttelettes et/ou des nanoparticules. Une étude détaillée du plasma d'ablation et des films formés en fonction de ces deux paramètres a permis de mettre en place des hypothèses sur le mécanisme de formation des nanoparticules. La seconde approche a montré une forte diminution de la densité des gouttelettes. Des films d'AlN et de CuxOy avec une bonne qualité de surface, qualité cristalline et de bonne composition ont été obtenus. Aussi des films de TiC déposés à partir de l'ablation de deux cibles différentes (Ti et C) montrent la possibilité de mélange de deux plasmas différents grâce à cette technique.
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Stock, François. "Traitements laser UV de couches de carbone amorphe adamantin (DLC) obtenues par ablation laser pulsée (PLD) : application à la synthèse d'électrodes transparentes." Thesis, Strasbourg, 2019. http://www.theses.fr/2019STRAD035.
Анотація:
L'un des grands défis que les technologies d'affichage (LCD, OLeds…), dispositifs optoélectroniques et photovoltaïques devront affronter dans le futur est de trouver une alternative à l'utilisation d’oxydes conducteurs transparents tel l’oxyde d’indium-étain (ITO). Le graphène, un matériau 2D conducteur et transparent à base de carbone apparait comme une alternative attractive à l’ITO. Cependant, son transfert sur grandes surfaces est complexe et délicat à mettre en œuvre. Dans cette étude, une fine couche mince de carbone adamantin (DLC : Diamond-Like Carbon) est déposée par ablation laser pulsée (PLD) sur des substrats transparents et isolants (quartz, verre…). Le DLC présente une bonne transmission dans le domaine visible et constitue un parfait isolant électrique. Il présente cependant un caractère partiellement opaque dans le domaine UV. De ce fait, un traitement laser UV permet une modification des liaisons atomiques des premières couches de sa surface et ainsi la synthèse de « graphène / graphite » sur quelques couches atomiques. Ce procédé novateur et original est basé uniquement sur des technologies lasers et offre l’avantage d’une compatibilité importante avec les procédés de la microélectronique classiqueOne of the biggest challenge that optoelectronic and photovoltaic devices will have to face is the necessity to provide a reliable alternative to transparent conducting oxide (TCO) and especially to Indium Thin Oxide (ITO) widely used in display technologies. This thesis presents an alternative solution based on laser processes and carbon materials only. In a first step, Diamond-Like Carbon (DLC) is grown with a pulsed laser deposition (PLD) process. DLC is an amorphous form of carbon sharing many properties with diamond like very high transparency in the visible range and being a perfect electrical insulator. Therefore, in a second step, DLC thin films are annealed with UV laser. These surface treatments lead to the modification of the first DLC atomic layers. With this step, dominating diamond bindings (sp3) responsible of insulating properties of DLC are broken and atoms will be reorganized in graphitic bindings (sp2) leading to surface conductivity appearance. Within only surface modifications (over a few atomic layers), the interesting property of transparency is conserved with an additional attractive surface conductivity. Obtained performances clearly approach and reach ITO values. This only laser-based process offers very interesting perspectives with keeping an important compatibility with standard microelectronics technical steps
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Déziel, Jean-Luc. "Ablation laser et croissance de réseaux de surface." Master's thesis, Université Laval, 2015. http://hdl.handle.net/20.500.11794/26377.
Анотація:
Tableau d'honneur de la Faculté des études supérieures et postdorales, 2015-2016La formation des réseaux de surface, ou laser-induced periodic surface structures (LIPSSs), à l’aide d’une source laser pulsée est étudiée avec la théorie de Sipe-Drude, d’abord analytiquement, puis avec la méthode numérique finite-difference time-domain (FDTD). Les LIPSSs sont des structures nanométriques sinusoïdales pouvant être catégorisées selon leur orientation par rapport à la direction de polarisation du laser incident et en fonction de leur période Λ par rapport à la longueur d’onde du laser λ. Avec la méthode FDTD, nous trouvons, dans une région de l’espace paramétrique jamais explorée, qu’une impulsion laser polarisée linéairement peut interagir avec une surface rugueuse de façon à faire croître des structures bidimensionnelles ayant une période de Λ ∼ λ dans les orientations parallèle et orthogonale à la direction de polarisation. Par contre, ce modèle ne peut expliquer la forte organisation et régularité des structures dans le domaine spatial, tel qu’observé dans les expériences. Permettre l’auto-organisation des structures avec un mécanisme de rétroaction inter-impulsion est une solution possible afin de simuler la croissance de LIPSSs fortement organisés d’une impulsion laser à la suivante. Récemment proposée, cette méthode utilise un processus d’ablation non physique afin de tenir compte qualitativement de l’éjection de matériau entre deux impulsions laser. Ce nouveau modèle peut reproduire une grande variété de LIPSSs avec une forte régularité spatiale, mais échoue toujours à simuler la croissance de l’amplitude de certains types de structures. Nous suggérons que ces structures restantes peuvent croître en considérant un mécanisme inverse, l’expansion. En combinant ablation et expansion, nous avons simulé avec succès un plus grand nombre de types de LIPSSs.
The formation of laser-induced periodic surface structures (LIPSSs) using pulsed laser source is studied on the basis of the Sipe-Drude theory solved, first analytically, then with a finitedifference time-domain (FDTD) scheme. LIPSSs consist of wavy nanometric structures and can be categorized depending on their orientation with respect to the incident laser polarization and their periodicity Λ with respect to the incident laser wavelength λ. With our FDTD solver, we find, in as yet unexplored regions of parameter space, that a linearly polarized laser pulse can interact with a rough surface such that bidimensional structures could grow with both parallel and perpendicular periodicity of Λ ∼ λ. However, this theory cannot predict the strong organization and regularity in the space domain, as observed in the experiments. Allowing self-organization in the model with an interpulse feedback mechanism is a possible solution to simulate the growth of strongly organized LIPSSs from one laser pulse to the next. This recently proposed method uses a non-physical ablation process to qualitatively account for material removal between two laser pulses. This new model can reproduce a large variety of LIPSSs with a strong spatial regularity, but still fails to simulate amplitude growth of some of the structures. We suggest that those remaining structures can grow by considering an inverse mechanism, an expansion process. By combining ablation and expansion mechanisms, we have successfully simulated the growth of a large class of LIPSSs.
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Autier-Laurent, Sandrine. "Films minces d'oxydes préparés par ablation laser pulsé : répliques du matériau massif ?" Caen, 2005. http://www.theses.fr/2005CAEN2041.
Анотація:
L'objectif de cette thèse est d'utiliser la technique de l'ablation laser pulsé pour faire croître des matériaux différents et de comparer les propriétés des films par rapport à celles du matériau massif correspondant. Des films minces des composés CaCu3Ti4O12 (diélectrique) et CaCu2Mn5O12 (ferromagnétique) ont été réalisés. La croissance de ces composés de structure similaire a montré l'importance de la compatibilité chimique entre le film et le substrat dans la réalisation de films minces. Les propriétés des films sont soit semblables (CaCu3Ti4O12) soit légèrement différentes (CaCu2Mn5O12) de celles du matériau massif même si la structure est conservée. V2O3 est le troisième matériau étudié. Ce composé présente à l'état massif une transition métal/isolant (structurale et magnétique) autour de 150 K. La croissance de films minces de V2O3 a montré que, même si le groupe d'espace est conservé, la structure à température ambiante est déformée par rapport à celle du matériau massif. Les films réalisés possèdent des propriétés proches du matériau massif pour des températures supérieures à 150 K. Quand la structure est compressée selon l'axe c la transition métal/isolant est observée autour de 150 K par contre, lorsque la structure est fortement étirée selon l'axe c les films sont métalliques même à basse température. Lorsque la structure d'un matériau est conservée à l'état de film mince, les propriétés physiques des films s'apparentent à celles du matériau massif. Par contre, une déformation importante de la maille par rapport au matériau massif ainsi que le blocage d'une transition structurale par le substrat impliquent un changement des propriétés physiques du matériau.
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Goux, Ludovic. "Dépôt de (Ba,Sr) TiO3 par ablation laser pour l'intégration de condensateurs sur silicium." Tours, 2006. http://www.theses.fr/2002TOUR4015.
Анотація:
Cette étude est une tentative d'épitaxie par ablation laser de l'oxyde de forte permittivité Ba0. 6Sr0. 4TiO3 (BST) sur silicium en vue de l'intégration de condensateurs de forte capacité. Nous montrons d'abord l'effet bénéfique d'une croissance de BST orientée selon les plans (h00) sur substrat monocristallin SrTiO3(100) sur la valeur de la permittivité du film. Comme par ailleurs nous confirmons que la croissance du BST sur substrat Pt(111)/TiOx/SiO2/Si (0x2) n'est pas épitaxiale mais principalement contrôlée par des mécanismes de diffusion de titane et d'oxygène, nous cherchons finalement à optimiser la croissance orientée selon son axe-c de l'oxyde La0. 9Sr1. 1NiO4 sur silicium : cet oxyde conducteur (1 m. Cm) joue le rôle de patron d'épitaxie pour le BST. Nos mesures électriques indiquent que la qualité d'orientation du BST doit encore être améliorée en vue d'obtenir d'excellentes propriétés diélectriquesThis study is an attempt to deposit epitaxial films of the high-k oxide Ba0. 6Sr0. 4TiO3 (BST) on silicon, in view of the integration of high capacitances. Using the laser ablation technique, we show first of all that the dielectric constant of BST is highly increased if the film grows along the (h00) planes on single crystal SrTiO3(100). As we also confirm that the growth of BST on Pt(111)/TiOx/SiO2/Si (0x2) is not epitaxial but rather influenced by diffusion processes of titanium and oxygen, we finally try to optimize the oriented growth of the oxide La0. 9Sr1. 1NiO4 along its c-axis on silicon. This oxide is conductive (1 m. Cm) and acts as an epitaxial template for the growth of BST. Our electrical measurements indicate that the quality of the orientation of BST is still to be improved so as to obtain some excellent dielectric properties
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Coulon, Jérôme. "Films manganites orientés présentant une transition métal-isolant : dépôt par ablation laser, intégration sur silicium." Tours, 2003. http://www.theses.fr/2003TOUR4028.
Анотація:
Les oxydes de structure pérovskite à base de manganèse présentent en fonction des substitutions une forte incidence sur les propriétés électriques qui laisse entrevoir des applications comme un limiteur de courant et de tension. La technique retenue pour déposer le matériau oxyde en préservant sa cristallinité est l'ablation laser. La composition utilisée La0. 8Sr0. 2MnO3 ne se dépose pas de façon orientée sur un substrat silicium. Une partie de cette étude porte donc sur une interface d'épitaxie. Une méthode de synthèse de poudres fines de manganites et leur frittage, ont été expérimentés. Les résultats en terme de conductivité obtenus sur le nickelate massif ne sont retrouvés dans le film que si les conditions de dépôts sont contrôlées et maîtrisées. La croissance de la manganite est orientée. Mais on ne retrouve des performances proches de celles du monocristal que pour les manganites déposées sur l'aluminate de lanthane, le substrat qui présente le plus d'écart de maille avec la manganite. Ces résultats témoignent de la grande sensibilité des dépôts de manganites aux contraintes générées tant par la croissance, que l'écart de maille avec le substratIn function of substitutions, the manganites oxydes with perovskite structure present a dramatic evolution of the electric properties. This shows the possibilities of making a limitor of current and voltage. The technique chooses to grown the films and preserves the cristallinity, is the pulsed laser deposition. The La0. 8Sr0. 2MnO3 grown without preferential orientation on Si substrate. A part of this study point on the development of a buffer layer. A original method of manganite fine powder synthesis have been used and it sintering have been optimized. The conductivity properties of the bulk nickelate are equivalent of the film only when the growth conditions are under control. The films of manganite are oriented but the properties near of the crystal are finding again for the lanthane aluminate substrate, which have the biggest mismatch with the manganite. The result shows the dramatic sensibility of manganite layer to the strains due to the grown and the mismatch
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Moubah, Reda. "Structure et magnétisme des couches minces de cobaltite de types Ca3Co2O6 et Ca3Co4O9 déposées par ablation laser pulsée." Strasbourg, 2010. https://publication-theses.unistra.fr/public/theses_doctorat/2010/MOUBAH_Reda_2010.pdf.
Анотація:
Cette thèse porte sur l'étude des propriétés structurales et magnétiques des couches minces de cobaltite de types Ca3C0206 et Ca3C0409 déposées par ablation laser pulsée sur des substrats d'AI20 3(OOl). Ce travail a d'abord consisté en l'élaboration de couches minces polycristallines de Ca3C0206 et épitaxiées de Ca3C0409. En ce qui concerne la cobaltite Ca3C0206, on a pu déterminer la valeur du gap optique et qui est en accord avec les valeurs obtenues par des études théoriques. Le résultat le plus original est qu'on a démontré que les propriétés magnétiques sont très sensibles à la taille des échantillons. On note que les plateaux d'aimantation observés à 2 K dans les couches minces de Ca3C0206 disparaissent pour les couches fines ayant une épaisseur inférieure à 60 nm. Cette disparition des plateaux d'aimantation est accompagnée de l'apparition d'une transition magnétique additionnelle vers 45 K. Nos résultats sont incompatibles avec l'effet tunnel quantique de l'aimantation comme mécanisme à l'origine des plateaux d'aimantation, et soutiennent les prédictions des modèles Monte-Carlo. Quant aux couches minces de Ca3C0409, on a déterminé la nature et l'origine des défauts structuraux qui sont souvent observés par microscopie électronique en transmission. Ces défauts correspondent à la formation de phase parasite de CaC020 4. La formation de cette phase parasite est due à la haute température de dépôt (750°C), à la grande pression appliquée par le substrat d'AI20 3(OOl) (5. 5 GPa) à travers les contraintes et à une possible non stoechiométrie locale de la cible. Ces défauts structuraux influencent les propriétés magnétiques, en réduisant le champ coercitif et l'aimantation rémanente par rapport à ceux du Ca3C0409 massifThis thesis focuses on the study of structural and magne tic properties of Ca3C0206 and Ca3C0409 thin films deposited by pulsed laser deposition on Alz03(001) substrates. This work initially involved the elaboration of polycrystalline Ca3C0206 and epitaxial Ca3C0409 thin films. Regarding the Ca3C0206 cobaltite, we were able to determine the value of the optical band gap, which is in agreement with the values obtained by theoretical studies. More interestingly, we have demonstrated that the magnetic properties are very sensitive to sample size. The magnetization plateaus observed at 2 K in Ca3C0206 thin films disappear for thin films with a thickness below 60 nm. This disappearance of the magnetization steps is accompanied by the appearance of an additional magnetic transition around 45 K. Our results are inconsistent with the quantum tunneling of magnetization as a mechanism for the origin of magnetization plateaus, and support more the predictions of Monte Carlo based models. For the Ca3C0409 films, we have determined the nature and the origin of structural defects that are often observed by transmission electron microscopy. These defects are constituted of the CaC020 4 parasitic phase. The formation of this spurious phase is due to the high deposition temperature (750 oC), the high pressure applied by the AI20 3(OOl) substrate (5. 5 GPa) and the possibility of a local non-stoichiometry of the target. These structural defects affect the magne tic properties, by reducing the coercivity and remanent magnetization with respect to those of the Ca3C0409 bulk samples
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Al, Khawwam Anas. "Dépôt de nitrure de carbone par ablation laser IR sous atmosphère de post-décharge d'azote." Lille 1, 2002. https://pepite-depot.univ-lille.fr/RESTREINT/Th_Num/2002/50376-2002-179.pdf.
Анотація:
L'objectif de cette étude est l'élaboration et la caractérisation de dépôts de nitrure de carbone réalisés sur des substrats de Si ou Al par ablation laser IR d'une cible de graphite sous post-décharge d'azote en écoulement. L'influence de l'accroissement de la pression d'azote sur les caractéristiques physico-chimiques et structurales ainsi que sur la dureté et la résistivité électrique de ces matériaux est également analysée. Dans ce but, plusieurs techniques sont mises en œuvre. Selon une approche originale, l'analyse du dépôt par XPS a permis de mettre en évidence six configurations de liaison carbonée et d'établir une corrélation directe entre les résultats d'analyse XPS des bandes de cœur et des bandes de valence. En outre, la présence de cristaux de structure α-C3N4 est mise en évidence par des analyses DRX en incidence rasante. Ces cristaux sont dispersés dans une phase amorphe constituant la nature essentielle des couches ainsi que le confirme la spectroscopie Raman. La morphologie et la topographie de surface des dépôts sont analysées par MEB et AFM reflétant une microstructure granulaire constituée de particules qui s'agglomèrent entre elles en formant des agrégats dont la taille est de plusieurs centaines de nanomètres. Enfin, une première approche à la compréhension des processus en phase gazeuse intervenant lors de l'ablation laser est réalisée par spectroscopie optique d'émission.