Academic literature on the topic 'Achromatique'
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Journal articles on the topic "Achromatique":
1
Gay, Jean, Yves Rabbia, and Pierre Baudoz. "Le coronographe interférentiel achromatique." Comptes Rendus de l'Académie des Sciences - Series IIB - Mechanics-Physics-Chemistry-Astronomy 325, no. 1 (July 1997): 51–56. http://dx.doi.org/10.1016/s1251-8069(97)83264-2.
2
Gay, Jean, François Fressin, Jean-Pierre Rivet, Yves Rabbia, and Christophe Buisset. "Un coronographe interférentiel achromatique coaxial." Comptes Rendus Physique 6, no. 10 (December 2005): 1169–75. http://dx.doi.org/10.1016/j.crhy.2005.12.001.
3
Aime, Claude, Alexis Carlotti, and Gilbert Ricort. "Proposition de coronographe achromatique à quatre quadrants." Comptes Rendus Physique 8, no. 7-8 (September 2007): 961–66. http://dx.doi.org/10.1016/j.crhy.2007.10.007.
4
Mouchart, J., J. Begel, and S. Chalot. "Dépôts Achromatiques Partiellement Réfléchissants." Journal of Modern Optics 37, no. 5 (May 1990): 875–88. http://dx.doi.org/10.1080/09500349014550931.
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Gray, N. D., R. Howarth, R. W. Pickup, J. Gwyn Jones, and I. M. Head. "Substrate Uptake by Uncultured Bacteria from the Genus Achromatium Determined by Microautoradiography." Applied and Environmental Microbiology 65, no. 11 (November 1, 1999): 5100–5106. http://dx.doi.org/10.1128/aem.65.11.5100-5106.1999.
Abstract:
ABSTRACT Microautoradiography was used to investigate substrate uptake by natural communities of uncultured bacteria from the genusAchromatium. Studies of the uptake of14C-labelled substrates demonstrated thatAchromatium cells from freshwater sediments were able to assimilate 14C from bicarbonate, acetate, and protein hydrolysate; however, 14C-labelled glucose was not assimilated. The pattern of substrate uptake by Achromatiumspp. was therefore similar to those of a number of other freshwater and marine sulfur-oxidizing bacteria. Different patterns of radiolabelled bicarbonate uptake were noted for Achromatium communities from different geographical locations and indicated that one community (Rydal Water) possessed autotrophic potential, while the other (Hell Kettles) did not. Furthermore, the patterns of organic substrate uptake within a single population suggested that physiological diversity existed in natural communities of Achromatium. These observations are consistent with and may relate to the phylogenetic diversity observed in Achromatium communities. Incubation of Achromatium-bearing sediment cores from Rydal Water with35S-labelled sulfate in the presence and absence of sodium molybdate demonstrated that this bacterial population was capable of oxidizing sulfide to intracellular elemental sulfur. This finding supported the role of Achromatium in the oxidative component of a tightly coupled sulfur cycle in Rydal Water sediment. The oxidation of sulfide to sulfur and ultimately to sulfate byAchromatium cells from Rydal Water sediment is consistent with an ability to conserve energy from sulfide oxidation.
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Gray, N. D., R. Howarth, A. Rowan, R. W. Pickup, J. Gwyn Jones, and I. M. Head. "Natural Communities of Achromatium oxaliferum Comprise Genetically, Morphologically, and Ecologically Distinct Subpopulations." Applied and Environmental Microbiology 65, no. 11 (November 1, 1999): 5089–99. http://dx.doi.org/10.1128/aem.65.11.5089-5099.1999.
Abstract:
ABSTRACT The diversity and ecology of natural communities of the uncultivated bacterium Achromatium oxaliferum were studied by use of culture-independent approaches. 16S rRNA gene sequences were PCR amplified from DNA extracted from highly purified preparations of cells that were morphologically identified as A. oxaliferumpresent in freshwater sediments from three locations in northern England (Rydal Water, Jenny Dam, Hell Kettles). Cloning and sequence analysis of the PCR-amplified 16S rRNA genes revealed that multiple related but divergent sequences were routinely obtained from theA. oxaliferum communities present in all the sediments examined. Whole-cell in situ hybridization with combinations of fluorescence-labelled oligonucleotide probes revealed that the divergent sequences recovered from purified A. oxaliferumcells corresponded to genetically distinct Achromatiumsubpopulations. Analysis of the cell size distribution of the genetically distinct subpopulations demonstrated that each was also morphologically distinct. Furthermore, there was a high degree of endemism in the Achromatium sequences recovered from different sediments; identical sequences were never recovered from different sampling locations. In addition to ecological differences that were apparent between Achromatium communities from different freshwater sediments, the distribution of different subpopulations of Achromatium in relation to sediment redox profiles indicated that the genetically and morphologically distinct organisms that coexisted in a single sediment were also ecologically distinct and were adapted to different redox conditions. This result suggests that Achromatium populations have undergone adaptive radiation and that the divergent Achromatiumspecies occupy different niches in the sediments which they inhabit.
7
Gray, N. D., R. Howarth, R. W. Pickup, J. Gwyn Jones, and I. M. Head. "Use of Combined Microautoradiography and Fluorescence In Situ Hybridization To Determine Carbon Metabolism in Mixed Natural Communities of Uncultured Bacteria from the GenusAchromatium." Applied and Environmental Microbiology 66, no. 10 (October 1, 2000): 4518–22. http://dx.doi.org/10.1128/aem.66.10.4518-4522.2000.
Abstract:
ABSTRACT Combined microautoradiography and fluorescence in situ hybridization (FISH) was used to investigate carbon metabolism in uncultured bacteria from the genus Achromatium. All of theAchromatium species identified in a freshwater sediment from Rydal Water, Cumbria, United Kingdom, which were distinguishable only by FISH, assimilated both [14C]bicarbonate and [14C]acetate. This extends previous findings thatAchromatium spp. present at another location could only utilize organic carbon sources. Achromatium spp., therefore, probably exhibit a range of physiologies, i.e., facultative chemolithoautotrophy, mixotrophy, and chemoorganoheterotrophy, similar to other large sulfur bacteria (e.g., Beggiatoa spp.).
8
Babenzien, Hans-Dietrich. "Achromatium oxaliferum and its ecological niche." Zentralblatt für Mikrobiologie 146, no. 1 (1991): 41–49. http://dx.doi.org/10.1016/s0232-4393(11)80258-1.
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Glöckner, Frank Oliver, Hans-Dietrich Babenzien, Jörg Wulf, and Rudolf Amann. "Phylogeny and Diversity of Achromatium oxaliferum." Systematic and Applied Microbiology 22, no. 1 (February 1999): 28–38. http://dx.doi.org/10.1016/s0723-2020(99)80025-3.
10
Head, Ian M., Neil D. Gray, Hans-Dietrich Babenzien, and Frank Oliver Glöckner. "Uncultured giant sulfur bacteria of the genus Achromatium." FEMS Microbiology Ecology 33, no. 3 (September 2000): 171–80. http://dx.doi.org/10.1111/j.1574-6941.2000.tb00739.x.
Dissertations / Theses on the topic "Achromatique":
1
Baudoz, Pierre. "Coronographie stellaire : Le coronographe interferentiel achromatique." Nice, 1999. http://www.theses.fr/1999NICE5366.
Abstract:
Ce memoire de these presente une methode de detection de structures faiblement lumineuses autour des etoiles : la coronographie interferentielle. L'argumentaire met particulierement l'accent sur la description et l'etude de principe d'un instrument propose par gay & rabbia 1996 : le coronographe interferentiel achromatique (cia). Je decoupe ma discussion en trois parties assez independantes. La premiere partie decrit le principe et la faisabilite du cia. La description du principe met en evidence le fait que le cia permet d'eteindre dans tout le plan image et de facon achromatique la contribution lumineuse d'une source ponctuelle. En revanche, pour un compagnon, l'extinction n'a pas lieu et la detection est possible des que la separation angulaire depasse un tiers du rayon du premier anneau sombre de la tache d'airy. J'etudie dans cette partie les tolerances a assigner d'une part aux parametres internes au cia (aberrations, defauts de reglages) et d'autre part aux parametres externes a l'instrument (qualite optique du telescope, effets de l'atmosphere) pour atteindre l'extinction voulue. La deuxieme partie presente les resultats obtenus avec les deux versions de cia construits pendant ma these. Je presente dans cette partie le premier cia construit (cia 1) ainsi que les resultats obtenus aussi bien en laboratoire que lors d'une serie d'observations sur le 1. 52m de l'observatoire de haute provence. Puis je decris le deuxieme cia (cia compact) et je montre des images de sa premiere extinction au telescope canada france hawaii. La troisieme partie presente le principe et les tests de laboratoire sur un concept de cia modifie : le coronographe interferentiel hybride (cih). Cet instrument permet d'eviter le dedoublement des images present dans le cia qui peut mener, lors d'observation de structures complexes, a des confusions. Dans le dernier chapitre, je propose une methode de retrait complet des residus de diffraction pour les coronographes a masque.
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Mancini, Cédric. "Mise en place d'un microscope confocal achromatique." Phd thesis, Université Claude Bernard - Lyon I, 2010. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00595340.
Abstract:
L'étude des propriétés luminescentes de nanoparticules permet d'accéder à des informations sur les mécanismes élémentaires liés à cette luminescence. À l'instar de ce qui a été fait pour les semiconducteurs (effets de confinement quantique par exemple), nous souhaitons étudier l'influence de paramètres tels que la taille ou la composition de nanoparticules isolantes sur leur luminescence. Pour cela il fallait créer un outil polyvalent capable d'exciter efficacement ces particules, d'en effectuer des images luminescentes et enfin d'en faire la spectroscopie. Le microscope confocal achromatique élaboré dans le cadre de mon travail de thèse et hébergé au sein de Nanoptec est à même de remplir ces objectifs : longueur d'onde d'excitation accordable allant de l'UV dur (210 nm) à l'IR (près de 1 μm), résolution spatiale de l'ordre du μm (permet l'étude de particules assez espacées), aspect confocal permettant d'isoler spatialement la luminescence de l'objet étudié, système de détection capable d'isoler spectralement cette luminescence... Cet outil a permis des collaborations diverses avec des équipes au sein et hors du laboratoire, comme la cartographie spatiale de la répartition de dopants dans des fibres laser, l'évaluation des inhomogénéités lumineuses au sein de matériaux céramiques, la mesure de dispersion spatiale de nanoparticules dans des plastiques... Le microscope confocal achromatique nous sert également à étudier plus fondamentalement les effets de la puissance d'excitation sur les propriétés luminescentes de nanoparticules de tailles et de compositions diverses.
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Mancini, Cédric. "Mise en place d’un microscope confocal achromatique." Thesis, Lyon 1, 2010. http://www.theses.fr/2010LYO10254.
Abstract:
L’étude des propriétés luminescentes de nanoparticules permet d’accéder à des informations sur les mécanismes élémentaires liés à cette luminescence. À l’instar de ce qui a été fait pour les semiconducteurs (effets de confinement quantique par exemple), nous souhaitons étudier l’influence de paramètres tels que la taille ou la composition de nanoparticules isolantes sur leur luminescence. Pour cela il fallait créer un outil polyvalent capable d’exciter efficacement ces particules, d’en effectuer des images luminescentes et enfin d’en faire la spectroscopie. Le microscope confocal chromatique élaboré dans le cadre de mon travail de thèse et hébergé au sein de Nanoptec est à même de remplir ces objectifs : longueur d’onde d’excitation accordable allant de l’UV dur (210 nm) à l’IR (près de 1 μm), résolution spatiale de l’ordre du μm (permet l’étude de particules assez espacées), aspect confocal permettant d’isoler spatialement la luminescence de l’objet étudié, système de détection capable d’isoler spectralement cette luminescence... Cet outil a permis des collaborations diverses avec des équipes au sein et hors du laboratoire, comme la cartographie spatiale de la répartition de dopants dans des fibres laser, l’évaluation des inhomogénéités lumineuses au sein de matériaux céramiques, la mesure de dispersion spatiale de nanoparticules dans des plastiques... Le microscope confocal achromatique nous sert également à étudier plus fondamentalement les effets de la puissance d’excitation sur les propriétés luminescentes de nanoparticules de tailles et de compositions diversesStudying luminescent properties of nanoparticles leads to informations about elementary mechanisms connected to the luminescence. As it has been done for semiconductors (quantum confinement effect for instance), we want to evaluate the influence of parameters like size or composition of insulating nanoparticles on their luminescence. In this purpose, we had to develop a versatile tool, able to efficiently excite these particles, then perform their image and their spectroscopy. The achromatic confocal microscope built during my phD work and hosted in the Nanoptec center is able to fill these aims : tunable wavelenght from deep UV (210 nm) to IR (about 1 μm), spatial resolution of about 1 μm (enables us to work on sufficiently separated particules), confocal aspect leading to a spatial isolation of the studied object luminescence, detection system able to spectrally select this luminescence... We made various collaborations with teams in and out of the laboratory, such as spatial cartography of dopant distribution in laser fibers, evaluation of optical inhomogeneities amidst ceramics, spatial dispersion measurements of nanoparticles in plastics... The achromatic confocal microscope is also helpful for a better understanding of excitation power effects of luminescent properties of various sizes and compositions nanoparticles
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Brachet, Frank. "Etude et développement d'un déphaseur achromatique pour l'interférométrie en frange noire." Phd thesis, Université Paris Sud - Paris XI, 2005. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00011990.
Abstract:
La mission Darwin de l'Agence Spatiale Européenne, envisagée à l'horizon 2015, est destinée à l'étude de planètes extrasolaires géantes et telluriques autour d'étoiles proches, pour analyser leurs atmosphères et y détecter d'éventuelles bio-signatures. Le principe proposé pour cette mission est celui de l'interférométrie en frange noire, basée sur le coronographe interférentiel de Bracewell, pour annuler le flux de l'étoile et rendre visible les planètes en orbite autour de celle-ci.Les difficultés technologiques de Darwin exigent, avant une application spatiale, la validation de chaque élément de l'instrument, lors d'expériences préparatoires en laboratoire. Parmi ces difficultés, le déphaseur de Pi, introduit dans l'interféromètre pour annuler le flux de l'étoile, doit être achromatique dans la bande d'observation (6-18 microns). Il existe plusieurs façons de créer ce déphasage achromatique. Cette thèse présente l'étude et le développement de l'une de ces techniques, basée sur des prismes dispersifs, et testée sur le banc SYNAPSE.
Après une présentation des enjeux planétologiques et exobiologiques de Darwin, nous introduisons les différentes techniques de déphasage achromatique. Le concept à base de lames dispersives prismatiques est détaillé, ainsi que les étapes de développement du banc SYNAPSE, fonctionnant en proche infrarouge. Nous montrons enfin que ce banc a permis de maintenir un taux de réjection de 4 000 (soit des fuites stellaires de 2,5.10-4) sur l'ensemble de la bande K (2-2,5 microns) durant plusieurs minutes. Ces résultats montrent également que, bien plus que le niveau absolu de réjection, l'enjeu réside dans sa stabilité durant les observations.
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COMPAIN, ERIC. "Conception et realisation d'un ellipsometre de mueller achromatique fonctionnant en temps reel." Palaiseau, Ecole polytechnique, 1999. http://www.theses.fr/1999EPXX0012.
Abstract:
Un ellipsometre de mueller (mme) mesure la reponse polarimetrique complete d'un systeme physique quelconque. Cette reponse est une matrice 4x4, dite de mueller. Elle decrit la facon dont un systeme physique modifie les quatre etats de polarisation de la lumiere. Les applications potentielles incluent la caracterisation et le controle de depots de couches minces sur des surfaces planes ou rugueuses, l'etude des defauts de surface des circuits de micro-electronique ou la caracterisation de particules spheriques ou non en suspension. Durant cette these, un mme mesurant simultanement les 16 coefficients de la matrice de mueller a ete concu puis realise. Il est achromatique, rapide (50khz), precis (erreur<0. 5%), facile a mettre en uvre et possede un excellent rapport signal sur bruit. Ces caracteristiques ont pu etre obtenues grace au developpement de deux sous systemes brevetes constituant les bras d'entree et de sortie : le bras d'entree est un modulateur de phase couple (cpm) : la lumiere est modulee deux fois de suite en traversant un modulateur de phase. Entre les deux traversees, un coupleur d'etats de polarisation comprenant un prisme droit et une ou plusieurs lames a incidence de brewster modifie l'etat de polarisation. Les quatre etats de polarisation du faisceau envoye sur l'echantillon, y compris l'intensite, sont alors modules independamment. Le bras de sortie est un polarimetre a prisme. Il mesure l'etat de polarisation de la lumiere ayant interagi avec l'echantillon. Pour ce faire, le faisceau entrant est separe en quatre faisceaux secondaires par un prisme suivi de deux polariseurs de wollaston. Les intensites de ces faisceaux sont liees de facon inversible aux quatre etats de polarisation du faisceau entrant. La mise en uvre du mme est facilitee par la methode de calibration dite des valeurs propres. Cette methode simple et efficace ne necessite que la mesure in-situ de quelques echantillons de reference dont les caracteristiques exactes n'ont pas besoin d'etre connues. Ce mme a ete utilise pour caracteriser des solutions de billes de polystyrene en suspension dans l'eau. Les effets de diffusions multiples intervenant aux fortes concentrations ont ete mis en evidence. Un bon accord a ete obtenu entre les mesures et des simulations numeriques de type monte-carlo.
6
Ingster-Moati, Isabelle. "Test statique de sensibilité au contraste : détection sur écran vidéo achromatique, à fréquence fixe et contraste variable." Clermont-Ferrand 1, 1995. http://www.theses.fr/1995CLF1MM03.
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Sahsah, Hassan. "Conception et réalisation d'un nouvel ellipsomètre automatisé, achromatique, à modulation de polarisation Faraday." Saint-Etienne, 1994. http://www.theses.fr/1994STET4013.
Abstract:
Dans ce travail de thèse nous présentons un nouvel ellipsomètre facile à réaliser et à mettre en œuvre, permettant des mesures d'excellente précision. La méthode ellipsométrique que nous avons conçue utilise une modulation sinusoïdale de la polarisation lumineuse, obtenue par effet Faraday d'un liquide. Cette méthode ne fait intervenir ni lame quart d'onde, ni autre compensateur optique, ni de pièce mécanique en rotation continue à fréquence assez élevée comme dans beaucoup d'ellipsomètres commercialisés. Les paramètres ellipsométriques sont mesurés à l’équilibre (méthode de zéro) lorsque les azimuts d'un analyseur bivoie (prisme de Rochon) sont calés sur les axes de la vibration elliptique réfléchie. L'alignement azimutal des polariseur et analyseur est effectué à l'aide d'une méthode originale qui conduit à beaucoup de précision et que tout utilisateur peut facilement mettre en œuvre. L’évaluation et la réduction de toutes les erreurs systématiques qui affectent la méthode ellipsométrique en général sont soigneusement décrites. Le dispositif ellipsométrique construit a été testé en effectuant des mesures sur des matériaux massifs (silice fondue, or). Il a été testé, aussi, en effectuant des mesures d'indice et d’épaisseur d'un film mince déposé sur un substrat (SiO2/ Si et YF3/Ar), à plusieurs angles d'incidence et à plusieurs longueurs d'onde.
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Pickel, Damien. "Etude d'un déphaseur achromatique "damier" dans un interféromètre à frange noire pour la caractérisation future des planètes extrasolaires." Paris 7, 2012. http://www.theses.fr/2012PA077181.
Abstract:
La détection directe de planètes extrasolaires est nécessaire à leur caractérisation. Cependant, c'est une tâche difficile à cause de la faible séparation angulaire, et du fort contraste entre l'étoile et sa planète. L'interférométrie annulante est une solution possible, mais elle requiert l'utilisation d'un déphaseur achromatique. Cette thèse en étudie un nouveau, dit «damier de phase». Il s'agit de deux miroirs ou lames transparentes composés de plusieurs cellules, dont la position et le déphasage introduit est contraint par un modèle mathématique. Le principal effet est que pour un niveau d'atténuation donné, plus on augmente le nombre de cellules dans les damiers, et la plus la bande passante s'élargit, ce qui traduit un comportement quasi-achromatique. Un banc optique automatisé a été construit afin de mesurer l'atténuation produite par les damiers dans le visible. Les premiers résultats ont été obtenus avec des damiers fabriqués par photolithogravure sur une lame transparente, et une atténuation d'un facteur 500 a été mesurée avec un laser blanc. Les erreurs sur le déphasage des cellules sont le principal facteur de perte de performances. Or celles engendrées par la fabrication de ce type de damiers étant irréversibles, il a été choisi de travailler avec un miroir segmenté qui permet de les contrôler. Afin de synthétiser les damiers, le contrôle du déphasage effectif de chaque cellule est nécessaire et se fait au moyen de la strioscopie. Ainsi, on a pu mesurer le comportement des damiers en fonction de la longueur d'onde, et valider expérimentalement leur comportement quasi-achromatique des damiersDirect detection of exoplanets is mandatory in order to characterize them. However, this is a hard task because of the small angular separation and high contrast between the host star and the planet. Nulling interferometry is one possible way, but it requires an achromatic phase shifter. In this thesis, a new phase shifter is studied, «the chessboards ». It is two mirrors or glass plate made of several cells, which position and phase shift are constrained by a mathematical scheme. The main effect is that for a given attenuation, the spectral bandwidth spreads as the number of cells in the chessboards increases, which gives the chessboards a quasi achromatic behavior. An automated test bench has been built in order to measure the attenuation produced by the chessboards in the visible. The first results have been obtained with chessboards made by photolithography on a glass plate, and an attenuation of 500 has been measured with a white laser beam. The cells' phase shift errors are the major source of loss of performance. Those generated by the fabrication process being irreversible, one chose to work with a segmented mirror that allows us to control the phase shift of each cells. In order synthesize the chessboards, the control of each cells' phase shift is mandatory and achieved by schlieren imaging. Thus, one can measure the chessboards behavior with respect to the wavelength, and experimentally validate the quasi-achromatic behavior of the chessboards
9
Boulbry, Bruno. "Mise en place d'un polarimètre de Mueller achromatique dans le domaine du visible en régime laser impulsionnel." Phd thesis, Université de Bretagne occidentale - Brest, 2002. http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00003057.
Abstract:
La polarimétrie consiste à étudier les transformations de polarisation d'une onde électromagnétique engendrées par un système physique. La réponse optique de ce système étant très sensible à l'état de polarisation de la lumière incidente ainsi qu'à sa longueur d'onde, une classe évoluée de polarimètres capables de mesurer la réponse polarimétrique d'un échantillon sur une large bande spectrale a vu le jour permettant ainsi d'accroître de façon conséquente le nombre d'informations le concernant. Nous avons mis au point un tel polarimètre capable de fonctionner avec une source impulsionnelle. Un grand soin a été porté à la réduction des erreurs systématiques grâce à l'utilisation d'un modèle original pour décrire les lames de phase utilisées. Cet étalonnage a débouché sur la réalisation d'un banc de caractérisation de lames de phase compensées. Une étude statistique nous a ensuite permis de minimiser et quantifier le résiduel d'erreurs inhérentes à une mesure. Mots clés : Polarisation, Polarimètre large bande, Formalisme de Stokes Mueller, Étalonnage, Erreurs systématiques et statistiques.
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Charley, Anne-Laure. "Conception, montage et caractérisation d'un interféromètre achromatique pour l'étude de la lithographie à immersion à 193 nm." Grenoble INPG, 2006. http://www.theses.fr/2006INPG0176.
Abstract:
La miniaturisation est aujourd'hui, plus que jamais, devenue le maître mot en microélectronique. En effet, les industriels poursuivent l'objectif, de plus en plus ambitieux, de diminuer les dimensions critiques des dispositifs actuels afin d'en améliorer les performances et d'en diminuer le coût. Dans cette perspective, la lithographie joue un rôle majeur car c'est la première étape qui définit le circuit intégré. La technique de lithographie utilisée aujourd'hui pour la production de masse et ayant permis d'atteindre le noeud technologique 65 nm est la lithographie optique à 193 nm. Pour aller en deçà, il nous faut améliorer la résolution des outils de lithographie et cela ne peut se faire sans une forte augmentation de leur complexité, de leur prix et de la difficulté de contrôler les procédés. Une solution est la technique de lithographie à immersion à 193 nm qui consiste en l'introduction d'un fluide d'indice supérieur à celui de l'air entre la lentille de projection et la plaquette de silicium : elle permet, dans un premier temps, de relâcher les contraintes sur les procédés en améliorant la profondeur de champ et, dans un second temps, d'améliorer la résolution tout en conservant l'infrastructure du 193 nm. L'objectif de ce travail de thèse est de monter et valider un interféromètre à immersion à 193 nm pour étudier, par anticipation, certains aspects de la technique. Dans ce manuscrit, nous décrivons la conception d'un montage interférométrique en immersion à 193 nm ayant la particularité d'être achromatique et présentant donc l'avantage de ne pas pâtir de la faible cohérence des sources excimères à 193 nm. Nous nous sommes focalisés sur la caractérisation du montage optique et avons conclu sur les paramètres de profondeur de champ et de transmission du système. Finalement, nous nous sommes intéressés à l'étude de l'imagerie à haute ouverture numérique. Nous avons pu montrer l'amélioration de la résolution en immersion, ainsi que la corrélation entre l'augmentation de la rugosité et la perte de contraste due à la polarisationMiniaturization has become the key word in microelectronics. Indeed, manufacturers aim at shrinking device critical dimensions in order to improve their performances and to decrease their costs. In that respect, lithography plays a predominant role since it is the step that defines the circuit. The lithography technique used for mass production today and that addressed the 65 nm technology node is optical lithography at a wavelength of 193 nm. But it is difficult to improve resolution without greatly increasing complexity, tool price and difficulty in controlling the process. A solution is immersion lithography which principle is to introduce a fluid of higher refractive index than air between the last lens element and the wafer : it, firstly, releases the process constraints by a depthof-focus improvement and, secondly, improves the resolution in keeping 193 nm infrastructures. The purpose of this PhD is to create and validate a 193 nm immersion interferometric setup to study, in advance of tool availability, some aspects of this new optical lithography technique. In this thesis, we describe the design of an achromatic interferometric setup working in immersion at 193 nm. Such a setup has the great advantage of enabling the use of a laboratory excimer laser and does not suffer from its poor coherence parameters. We focused on the characterization of the optical setup and have determined parameters for depth-of-focus and transmission. Finally, we studied imaging at high numerical apertures. We showed the benefit of immersion on resolution and the correlation between roughness increase and contrast loss due to polarisation
Books on the topic "Achromatique":
1
Bellegarde, Claude. Claude Bellegarde: Achromatisme, 1953-1957 : décembre 1989-janvier 1990, Galerie Bernard-Davignon. Paris: La Galerie, 1989.
2
Struve, Friedrich Georg Wilhelm. Catalogus Novus Stellarum Duplicium et Multiplicium Maxima Ex Parte in Specula Universitatis Caesareae Dorpatensis per Magnum Telescopium Achromaticum Fraunhoferi Detectarum... Creative Media Partners, LLC, 2022.
Book chapters on the topic "Achromatique":
1
Mehlhorn, Heinz. "Achromaticus quadrigemina." In Encyclopedia of Parasitology, 56. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2016. http://dx.doi.org/10.1007/978-3-662-43978-4_3574.
2
Mehlhorn, Heinz. "Achromaticus quadrigemina." In Encyclopedia of Parasitology, 1. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2015. http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-27769-6_3574-1.
3
Head, Ian M., Neil D. Gray, Richard Howarth, Roger W. Pickup, Ken J. Clarke, and J. Gwyn Jones. "Achromatium oxaliferum Understanding the Unmistakable." In Advances in Microbial Ecology, 1–40. Boston, MA: Springer US, 2000. http://dx.doi.org/10.1007/978-1-4615-4187-5_1.
4
"achromatize, v." In Oxford English Dictionary. 3rd ed. Oxford University Press, 2023. http://dx.doi.org/10.1093/oed/9103681116.
Conference papers on the topic "Achromatique":
1
Spaulding, Kevin E., and G. Michael Morris. "Achromatic waveguide input-output couplers." In OSA Annual Meeting. Washington, D.C.: Optica Publishing Group, 1990. http://dx.doi.org/10.1364/oam.1990.mo4.
Abstract:
Waveguide input-output couplers are key components in many integrated optical devices. Prism and grating couplers are two of the most commonly used types of waveguide couplers, but the characteristics of these components are highly wavelength-dependent. Both the coupling angle of an out-coupled beam and the coupling efficiency of an incoupled beam are strong functions of wavelength. For many applications these chromatic characteristics place tight constraints on the stability and bandwidth of the laser source that is used. In this paper a method to achromatize waveguide input-output couplers is described. The basic approach involves the use of an external diffraction grating to correct for the angular dispersion of the conventional coupler types. Two specific configurations are considered: a hybrid prism/grating coupler and a double-grating coupler. Expressions are derived for values of the grating parameters that produce achromatic coupling. It is shown that, for typical waveguide materials and performance specifications, double-grating couplers can be used to obtain an achromatic wavelength range of approximately 10 nm, and hybrid prism/grating couplers can potentially yield an achromatic range of the order of 200 nm.